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1、第34卷第4期应用光学Vo1.34No.42013年7月JournalofAppliedOpticsJu1.2013文章编号:1002—2082(2013)04—0575—04高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜设计刘仲禹,张欣婷,吴倩倩(1.长春理工大学光电信息学院,吉林长春130012;2.长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022)摘要:设计一种用于目标探测的高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜。该系统数值孔径NA一0.4、放大率口一10、像高2y一4.7mm,在248nm~656nm的宽波段范围内成像,采用熔石英和萤石两种光学材料对宽波段所引起的色差进行
2、校正。通过对系统的结构优化设计及像差平衡,使传递函数曲线的截止频率高达3600lp/mm,且接近衍射极限;分辨率d3、ng。WUQian—qian’(1.SchoolofOpticalandElectronicInformation,ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130012,China;2.SchoolofOptoelectronicEngineering,ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130022,China)Abstract:Ahighresolutionultraviolet/vis.blewidebandmicroscop4、eobjectiveusedfortargetdetectionwasdesigned.Thissystemwithnumericalapertureof0.4,magnificationof10times,imageheightof4.7mm,imagingwavelengthrangeof248nm-656nm,usedfusedsilicaandCaF2tocalibratethea—chromaticitycausedbywideband.Throughthesystemstructuraldesignandtheaberration,thecut—5、offfrequencyoftransferfunctioncurvecouldachieve3600lp/mm,whichwasclosetothediffractionlimit.Theresolutionwaslessthan0.65“m.Therootmeansquareofspotdiagramwaslessthan0.650mm.Curvatureoffieldwaslessthan0.01mm.Distortionwas1essthan0.5“m.Thissystemcancompletedual—bandexplorationmissiono6、fnearultravioletandvisiblelight.Keywords:opticaldesign;highresolution;wideband;achromatic引言也大大受限。在紫外探测中,目标产生的紫外辐射在微弱紫外光学系统在空间科技、机器人导航、生物的辐射背景噪声下很容易显现出来,紫外探测技医学、公安侦察、医疗诊断、数据存储等领域有着广泛的应用,尤其在空间探测中。目前,可见光及术正是通过探测这些光谱信号实现对目标的监红外波段的目标探测技术极受关注,但紫外波段测。本文设计了一种高分辨率紫外/可见宽波段的应用较少。紫外系统设计是一项挑战性很7、强、显微物镜,对空间探测过程中微小物质的变化情要求很高的工作。因为紫外波段的波长大约是可况进行光学放大成像并实时观测。见光波长的一半,除了其艾里斑(以m为单位)大1探测器的选取约为F的一半外,紫外波段所能使用的光学材料紫外探测器件是紫外探测技术实现的基础,收稿日期:2012-12—07;修回日期:2013-01—18作者简介:刘仲禹(1981一),男,吉林长春人,讲师,主要从事光学设计、光学仪器及检测方面的研究。E-mail:luoyiwuhens@163.corn·576·应用光学2013,34(4)刘仲禹,等:高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜设计可分为光8、敏电真空器件、固体器件、组合器件3种氟化镁。类型。组
3、ng。WUQian—qian’(1.SchoolofOpticalandElectronicInformation,ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130012,China;2.SchoolofOptoelectronicEngineering,ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130022,China)Abstract:Ahighresolutionultraviolet/vis.blewidebandmicroscop
4、eobjectiveusedfortargetdetectionwasdesigned.Thissystemwithnumericalapertureof0.4,magnificationof10times,imageheightof4.7mm,imagingwavelengthrangeof248nm-656nm,usedfusedsilicaandCaF2tocalibratethea—chromaticitycausedbywideband.Throughthesystemstructuraldesignandtheaberration,thecut—
5、offfrequencyoftransferfunctioncurvecouldachieve3600lp/mm,whichwasclosetothediffractionlimit.Theresolutionwaslessthan0.65“m.Therootmeansquareofspotdiagramwaslessthan0.650mm.Curvatureoffieldwaslessthan0.01mm.Distortionwas1essthan0.5“m.Thissystemcancompletedual—bandexplorationmissiono
6、fnearultravioletandvisiblelight.Keywords:opticaldesign;highresolution;wideband;achromatic引言也大大受限。在紫外探测中,目标产生的紫外辐射在微弱紫外光学系统在空间科技、机器人导航、生物的辐射背景噪声下很容易显现出来,紫外探测技医学、公安侦察、医疗诊断、数据存储等领域有着广泛的应用,尤其在空间探测中。目前,可见光及术正是通过探测这些光谱信号实现对目标的监红外波段的目标探测技术极受关注,但紫外波段测。本文设计了一种高分辨率紫外/可见宽波段的应用较少。紫外系统设计是一项挑战性很
7、强、显微物镜,对空间探测过程中微小物质的变化情要求很高的工作。因为紫外波段的波长大约是可况进行光学放大成像并实时观测。见光波长的一半,除了其艾里斑(以m为单位)大1探测器的选取约为F的一半外,紫外波段所能使用的光学材料紫外探测器件是紫外探测技术实现的基础,收稿日期:2012-12—07;修回日期:2013-01—18作者简介:刘仲禹(1981一),男,吉林长春人,讲师,主要从事光学设计、光学仪器及检测方面的研究。E-mail:luoyiwuhens@163.corn·576·应用光学2013,34(4)刘仲禹,等:高分辨率紫外/可见宽波段显微物镜设计可分为光
8、敏电真空器件、固体器件、组合器件3种氟化镁。类型。组
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