光伏清洗设备培训详解

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1、光伏清洗设备培训详解，偷出来的保密资料RENAInTex机器的操作手册byDr.IhorMelnykAxelHerguth1.一般规章1.1使用具有腐蚀性的化学品时需要具备足够的防护措施，建议使用抗腐蚀的盖板、衣服、鞋、手套和护目镜。此外，需确保自己一旦发生事故的情况下，能找到适当的紧急喷淋冲洗设施。1.2决不在机器内单独工作。1.3不要打开或去除正在运行的设备盖板，因为其内部蒸汽为危险性的酸或碱。2.RENAInTex机器正常操作的要求2.1化学供应和处理2.1.1RENAInTex设备正常运行情况下，要求

2、稳定的供应HF—15（L/h）、HNO3—15（L/h）、HCl—5（L/h）、KOH—3（L/h）和DIwater，这些数值可以随用量不同而变化。另外，建议备用HF—150L、HNO3—250L、HCl—75L、KOH—10L，提供给新化学槽使用。2.1.2对于使用传感器准确测量化学品的流量，至少要求7L/min的流量。对于使用化学槽处理，装载HF/HNO3的刻蚀槽，其最大体积为550L。2.2压缩空气2.2.1对RENAInTex设备的AirKnifes规定的操作压力要求至少为4bar，AirKnifes

3、不使用的情况下，压力需为6bar。2.2.2若AirKnifes的气压不足，刻蚀槽的HF和HNO3可能会发生反向流动，导致alkalinebath的刻蚀产生棕色污点，因此造成产品品质不良。2.2.3若AirKnifes2和AirKnifes3的气压不足，可能硅片没有被正确的吹干，因此将需要另外的清洁处理程序。注：当AirKnifes动作时请确认所有的阀门都打开。3.旧的刻蚀槽处理3.1刻蚀槽3.1.1选取菜单为Manual>etchbathFigure1:Manual>Etchbath:disposalofo

4、ldbath3.1.2“modeman”，通过按按钮选择手动模式。3.1.3按下“systemdraining”（屏幕的左边），则刻蚀槽和储备槽（tank）的化学品都将被排掉。按该按钮需谨慎！3.1.4等化学品排放过程完成后，屏幕上显示为“Empty”，为下面程序做好准备。3.1.5冲洗刻蚀槽和储备槽，按下“systemrinsing”，两槽将充满水并开始循环。该程序可设定冲洗次数：“parameter>parameter2>第三个栏位，屏幕的下边”。3.1.6冲洗之后将水排掉，保持刻蚀槽和储备槽为空。Fig

5、ure2:Parameter>Parameter2:Rinsetimeetchbath3.2Alkalinebath3.2.1选取菜单为“manual>alkaline”Figure3:Parameter>Parameter3:Rinsetimealkalinebath3.2.2“modeman”，通过按按钮选择手动模式。3.2.3按下“draining”，则碱槽的化学品将被排掉。3.2.4等化学品排放过程完成后，屏幕上显示为“Empty”，为下面程序做好准备。3.2.5冲洗碱槽，按下“rinsing”，碱槽

6、将充满水并开始循环。该程序可设定冲洗次数。3.2.6冲洗之后将水排掉，保持碱槽为空。3.2.7建议用水枪（在机器里，位于刻蚀槽边）手动冲洗盖子。3.3Acidicbath3.3.1选取菜单为“manual>acidic”Figure4:Manual>Acidic:DrainingandRinsing3.3.2“modeman”，通过按按钮选择手动模式。3.3.3按下“draining”，则酸清洗槽的化学品将被排掉。3.3.4等化学品排放过程完成后，屏幕上显示为“Empty”，为下面程序做好准备。3.3.5建议

7、清洁酸清洗槽，按下“rinsing”，该槽将充满水并开始循环。该程序可设定冲洗次数。3.3.6冲洗之后将水排掉，保持酸清洗槽为空。3.3.7建议用水枪手动冲洗盖子。4.更换刻蚀槽化学品HF/HNO34.1设备状态为：化学品仍然在刻蚀槽中和部分在储备槽（tank）中4.1.1更换选单为Manual>etchbath4.1.2“modeman”，通过按按钮选择手动模式。4.1.3按下“changebath”，更换化学品HF/HNO3。4.1.4刻蚀槽和储备槽将会排干化学品，然后两槽充满水开始清洗。可设定冲洗次数参

8、数。4.1.5冲洗后水被排干，开始充填化学溶液，顺序为先DIwater，再化学品。4.1.6刻蚀槽（Etchbath）被自动充满，二次循环开始。4.1.7等待温度达到设定工艺温度，刻蚀槽的指示灯将转换为绿色读值“ready”和“fullchem.”。4.1.8切换到自动模式“modeauto”开始生产。Figure5:Manual>Etchbath:Changingthebath5.新的各槽的填充5