压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量

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1、压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量第六图书馆提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(PeakValley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad(0.2^n),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8"的角分辨率的要

2、求。提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(PeakValley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad(0.2^n),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8"的角分辨率的要求。极紫外太阳望远镜ZYGO干涉仪压电陶

3、瓷转动平台转角精度光学精密工程高亮阚珊珊李敏尼启良陈波[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033[2]中国科学院研究生院,北京1000392007第六图书馆第六图书馆www.6lib.com第15卷第2期光学精密工程Vol_15No．22007年2月OpticsandPrecisionEngineeringFeb．2007文章编号1004924X(2007)02—0206—06压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量高亮，阚珊珊，李敏，尼启良，陈波(1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实

4、验室，吉林长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039)摘要：提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(PeakValley)值，=者的差值除以待测标准平面镜的直径，其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析，验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1rad(0．2”)，而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关，移动距离越大，产生的误差越大，但其相对误差小于1。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EU

5、T)0+8”的角分辨率的要求。关键词：极紫外太阳望远镜；ZYGO干涉仪；压电陶瓷转动平台；转角精度中图分类号：TH751；TB92文献标识码：ARotation。。angle-accuracymeasurementofpiezotiltplatformGAOLiang，K第六图书馆ANShan—shan，LIMin，NIQi—liang。CHENBo(1．StateKeyLaboratoryoJAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcadem

6、yofScience，Changchun130033，China；2．GraduateschooloftheChinwww.6lib.comeseAcademytlScience，Beijing100039，China)Abstract：Asub—arcsecond—accuracymethodformeasuringrotation—anglewasproposed．Thetinyro—tation-angleofthePZTwasobtainedusingthediameterofthereferenceflatmirrordividethed

7、iffer—encebetweenthePVswhenPZTmoveanddon’tmove．Bymeasuringandanalyzing，therotationan—gleaccuracyofthePZTislessthan1Frad(0．2”)．ThetotalerrorchangeswiththerotationangleofthePZT，butitsrelativeerrorwassmallerthan1．Theresultindicatesthatthemeasuringtechniquecanmeettheresolutionofth

8、eEUTto0．8．Keywords：extraultravioletsolartelescope(EUT)；ZYGOin