大面积高分辨率CsI（Tl）X射线转换屏实验研究-论文.pdf

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1、第31卷第2期深圳大学学报理工版Vol_3lNO．22014年3月JOURNALOFSHENZHENUNIVERSITYSCIENCEANDENGINEERINGMaF．2014【光电工程／OptoelectronicEngineering】大面积高分辨率Csl(TI)X射线转换屏实验研究廖华，胡昕，杨勤劳，王光超，王云程，阔晓梅1)深圳大学光电子器件与系统教育部重点实验室，光电子学研究所，深圳518060；2)f}1国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900摘要：通过对x射线转换屏制备过程中，Tl掺杂浓度、基底刻蚀

2、、晶柱生长过程和防潮解等方面的大量实验研究，得到最佳掺杂浓度(摩尔比为0．055％)及合适的基底刻蚀深度(5wn)与工艺，实现对晶柱生长过程中表面形貌、温度、压力和转速的控制，研制出有效直径为100mm、空间分辨率约为l2lp／mm(厚度为300txm)的CsI(T1)x射线转换屏．关键词：数字成像；掺杂浓度；基底刻蚀；晶柱生长；空间分辨；X射线转换屏中图分类号：TN143；TI65文献标志码：Adoi：10．3724／SP．J．1249．2014．02174ExperimentalstudyonanX-rayCsI(TI)co

3、nvertingscreenwithlargeformatandhighspatialresolutionLiaoHua，HuXin，YangQinlao”，WangGuangchao，WangYuncheng，andKuoXiaomei1)KeyLaboratoryofOptoelectronicDevicesandSystemsofMinistryofEducation，InstituteofOptoelectronics，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060，P．R．China2)Resear

4、chCenterofLaserFusion，ChinaAcademyofEngineeringPhysical，Mianyang621900，SichuanProvince，P．R．ChinaAbstract：AimedtoobtainaCsI(T1)X—rayconvertingscreenwithhighspatialresolution，alotofexperimentshavebeencarriedoutincludingTJdopingconcentrations．etchingsubstrates．andgrowin

5、gcrystalcolumns．Itisfoundthatthemoleratioof0．055％and5LLmisthebestdopingconcentrationandetchingdepthrespectively．Alsowellcontrolledaretheinfluencefactorsforthecrystalcolumngrowing，suchassurfacefeatures，temperatures，pressures，andspeedsofrotation．Theexperimentalevaluati

6、onhasshownthataCsI(T1)X—rayeonve~ingscreenwithspatialresolutionof12lp／mm(thethicknessof300Ixm)andactivediameterof100mmisdevelopedsuccessfully．Keywords：digitalimaging；dopingconcentration；etchingsubstrate；growingcrystalcolumns；spatialresolution；X—rayconvertingscreen在间接

7、型辐射数字成像系统中，转换屏将x射灵敏度，主要有以下3种类型～：CsI(Na)或线透射图像转换为CCD相机可以记录的可见光图CsI(T1)单晶屏、在各种无机发光材料上复合多晶像，其性能直接影响数字成像系统的空问分辨率和发光材料的闪烁屏及发光玻璃屏．其中，CsI(T1)Received：2013·09—13：Revised：2013—11-02；Accepted：2014-01·10Foundation：NationalHighTechnologyResearchandDevelopmentProgramofChina(2008A

8、A8040071)十Correspondingauthor：ProfessorYangQinlao．E—mail：qlyang@szn．edu．enCitation：LiaoHua，HuXin，YangQinlao，etalExperimentalstudyon