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1、二、無塵室基本概念2-1無塵室之定義(Cleanroom)無塵室無塵室(Cleanroom：將空氣微粒子(AirboneParticulate)、溫度、濕度、室壓、靜電、氣流、風速、振動、噪音、照明及微生物等控制在某一規定值內的特定房間，以往被稱CleanRoom。2-2無塵室之規範等級之起源1961年美國Sandia公司首創層流(Laminarflow)清淨室，得到前所未有之清淨環境，對當時美國之APOLO太空計劃有極大的幫肋，此後清淨室技術才逐漸被高科技工業所採用，因而發覺有制定清淨室規格與標準之必要。終於在1963年訂定美國聯邦規範#209
2、。此規範中將清淨度等級分為100、10000及三級，並定清淨度之測試方法、氣流方式、室壓及溫濕度等。其後分別於1966年、1973年、1987年、1988年和1992年，陸續修訂為209A、209B、209C、209D、209E。表2-1美國FS-209D規範重點微粒子等級粒徑μm≧0.5≧0.5≧0.5≧0.5≧0.510,000≧5≧0.5100,000≧5≦700≦65≦100,000數目個/ft3≦1≦10≦100壓差InAq(mmAq)溫度F(℃)相對濕度RH%風速FPMM/s(換氣數)層流次照度燭(Lux),000無特殊指定時≧0.0
3、572℉±5℉即22.2℃±2.8℃90FPM無特殊指定時±20%即0.45m/s±55±520%LUX亂流式≧次/時)500∣600≦1,000≦10,000即≧1.27mmAq表2-2FS–209E清淨度等級(1992年)粒徑大小微粒子數SI制級英制級3509.9175.72.1430.90.8753.008.7510.00.283--≧0.1μm≧0.2μm≧0.3μm≧0.5μm個/m3≧5μm個/ft3個/m3個/ft3個/m3個個3個/m/ft3/ft3個/ft3個/m3M1.5M2M2.5M335.099.5707.5021.435
4、.1.002.8310.028.3--------075..0214.5M3.5M4M4.5100---------300--247--7.001000-M5M5.5M6M6.5------------------------3006187.15.06180175M7------0表2-3FS-209D與JIS－B－9920清淨度等級對照表A.FS－209D：以0.5μm粒子(個/ft3)為基準。(粒徑)內者之單位為：個／m3135（1,225）7.5(263)3(105)1(35)10350(12,250)75(2,630)30(1,050)1
5、0(350)1001,00010,,000≧0.10.2750(26,300)300(10,500)100(3,500)1,000(35,000)710,,000(350,000)(3,500,000)707000.30.5≧5.0FS之1級=JIS之3級1101210231034105105610671078108≧0.1≧0.23,60010,100,0003,500,0000.,01010,,0001,010,000≧0.,.50035,,000≧5.,90029,000B.JIS－B－9920：以≧0.1μm粒子(個／m3)為基準。表2–
6、4工業清淨室(ICR)之清淨度與適用分類2-3無塵室之污染源大體上，清淨室的微粒子污染源，可分為兩部份：(1)來自外界的和(2)內部產生的。等)2-4無塵室之污染控制2-4-1維持清淨度之原則實務上要完全杜絕污染源並不切實際，因此，規劃清淨室時，是在於“如何將污染減至最低程度？”維持清淨度的四大原則：不帶入1.2.3.適當壓差不傳送良好施工不漏氣人物進入先除塵C.不積留C.不積留1.壁體2.設備四週留空間3.定期保養和清掃速排除D.D.速排除1.污染源直接排氣2.換氣次數要足夠3.適當的氣流速度不發生B.B.不發生1.用人少，動作輕2.穿著良好無
7、塵衣3.使用CR專用器具綜合上述的四大原則，基本上，需朝著下列方向進行：儘可能導入乾淨的外氣(3)採用不發塵、易保養的建材(2)嚴格管制人、物的進出(4)務實清潔保養與維修工作(5)穿著無塵衣，使用清淨室專用產品(6)密封壁板之聯接縫隙與配貫穿等孔洞污染控制方式HEPA過濾是維持清淨度的必需過程，但並非是唯一的。清淨室的污染控制主要是以下列七種方式互相配合而完成的：A.圍堵B.空壓控制F.管理C.過濾淨化D.換氣稀釋E.氣流速度圍堵A.A.圍堵「圍堵」是「不帶入」的基本策略，屬於“硬碰硬”的功夫，因此舉凡進出口、門窗、配管穿牆、管道間等與清淨室直
8、不可能完全密封，故有賴於「室壓控制」。室壓控制B.B.室壓控制對一密閉型房間而言，當進氣量大於排氣量即可維持「正壓」，進氣量愈多，正壓值
