如何防止电镜真空系统扩散泵油的挥发和变质-论文.pdf

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1、110分析仪器2014年第2期如何防止电镜真空系统扩散泵油的挥发和变质邓志刚(武汉理工大学材料研究与测试中心，武汉430070)摘要：扩散泵工作性能如何是电镜能否获得高真空的关键，扩散泵油的保质是扩散泵工作性能的关键。关键词：扩散泵油；维护D0I：10．3936／j．issn．1001—232x．2014．02．024Howtopreventvolatilizationandmodificationofthediffusionpumpoilintheelectronmicroscope(TEM)．DengZh

2、igang(CenterforMaterialsResearch&Analysis0_厂WuhanUniversityofTechnologyW“han430070。China)Abstract：Theperformanceofdiffusionpumpisthekeytogethighvacuumforelectronmicroscopy．Andthequalitypreservationofdiffusionpumpoiliscrucialtotheperformanceofdiffusionpump．K

3、eywords：diffusionpumpoil；maintenance电镜真空因电镜功能不同分为二级真空系统变差，易在扩散泵水路金属管内壁上结垢，使水流(第一级机械泵，第二级扩散泵或分子泵)和三级真不够通畅，冷却效果降低，常会加速油的挥发和空系统(第一级机械泵，第二级扩散泵或分子泵，第碳化。三级离子泵)，扩散泵工作性能如何是电镜能否获(3)对于用自来水做冷却水的电镜，有可能由得高真空的关键。影响扩散泵性能的因素除了加于泥沙阻塞，造成水压继电器工作失灵，停水时不热电源电压、机械泵性能等原因外，主要是扩散泵报警

4、。这种现象极为危险，几分钟就能使扩散泵油油量的减少和油质的下降，影响油质主要原因是油性能恶化。的过热和氧化即碳化。(4)对于用冷却水箱的电镜，如果没有配备真空系统在正常工作中，扩散泵油或多或少会UPS电源，遇到突然停电，扩散泵得不到及时冷却，有所挥发和碳化，因而在长期工作之后，会造成油也会造成油的挥发和变质。量的减少和油质的下降，但这与非正常挥发和碳化(5)电镜真空系统密封不严，造成微漏，气体和是不同的，后者往往可在很短时间内引起扩散泵性高温油接触会造成油的氧化变质。能的明显下降。如果扩散泵油维护得当，尽管有

5、少(6)如果扩散泵和镜筒之间的隔离阀密封不量挥发和碳化，可使其使用时间长达10年以上。严，造成放气时气体进入扩散泵，短时间内油质便会恶化。1引起扩散泵油非正常挥发和碳化的因素(7)突然停电造成的影响。现在电镜真空系统基本上是全自动运行的，有的电镜机械泵为了防止(1)有些地区，电网电压波动较大，用电高峰机械泵油倒灌安装了自动放气阀。停机时，阀门自(白天)和用电低谷(晚上)，电网电压相差较大，如动打开，管道进大气，这样机械泵油就不会倒灌。果没有稳压电源，晚上电压有时超过240V，往往造当突然停电时，由于管道阀门打

6、开，冷空气会立即成扩散泵过热，较容易使扩散泵油碳化。进入管道，如果管道和扩散泵阀门关闭不迅速，空(2)冷却水流量不够和冷却水更换不勤，水质气会通过管道进入扩散泵油锅，这样很容易造成扩作者简介：邓志刚，男，1963年出生，高级工程师，长期从事大型仪器维护维修工作，E—mail：365213544@qq．tom。2014年第2期分析仪器散泵油的氧化；而且，如果扩散泵和镜筒的阀门关值是否一致。确保镜筒真空确实达到要求。闭不迅速，扩散泵油会很快进入镜筒，使电镜的工(2)定期检查机械泵，观察泵油量和油的颜色。作性能下降

7、。油量少了就加油，油变质了就换油，确保机械泵在最佳工作状态。2如何防止扩散泵油蒸汽挥发和油质恶化(3)定期更换冷却水箱中的水，定期清洗水路本人长期从事电镜的维护和维修工作，从发展系统。的眼光看，有些问题，厂商已经从生产设计上解决(4)经常检查镜筒及管路的密封。观察真空指了，本文仅从防护角度进行讨论。维护扩散泵的关示偏低或机械泵声音异常，都要立即关闭电镜，检键是防止扩散泵油的过热和氧化，尽量不让冷空气查镜筒等部位密封情况。进人油锅。因此应注意下列若干环节。(5)对于空隙较多等样品，如水泥制品，一定要(1)电镜真

8、空系统都是自动运行的，即机械泵预抽真空，以减少潮气对扩散泵的影响。先抽扩散泵20分至3O分钟后，同时抽扩散泵和镜(6)尽量避免停电，和管理部门联系，做到停电筒，当镜筒真空达到一定的真空度后，再开扩散泵之前先通报。有条件的单位最好配备UPS电源。和镜筒之间的主阀，扩散泵工作，镜筒到高真空后，认真注意以上各个环节，可以大大延长扩散泵可以加高压，电镜工作。这就需要定期用复合真空油使用寿命。计来测量镜筒真空