影响氮化硅陶瓷内圆磨削加工表面形貌因素分析-论文.pdf

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1、2014年3月沈阳建筑大学学报(自然科学版)Mar．2O14第30卷第2期JournalofShenyangJianzhuUniversity(NaturalScience)Vo1．30．No．2文章编号：2095—1922(2014)02—0312—06doi：10．11717／j．issn：2095—1922．2014．02．18影响氮化硅陶瓷内圆磨削加工表面形貌因素分析吴玉厚，朱正杰，王贺(沈阳建筑大学交通与机械工程学院，辽宁沈阳110168)摘要：目的研究氮化硅陶瓷在内圆磨削时不同的磨削参数：砂轮线速度(1，)、径向进给速度(，)、轴向振荡速度(．)对表面粗糙度的影响．方法采用树脂

2、结合剂金刚石砂轮对氮化硅陶瓷试件进行内圆加工实验，进行了3因素的均匀实验．建立了氮化硅陶瓷内圆磨削的经验公式，利用Taylor．HobsonSurtroni25型接触式粗糙度仪对加工表面进行测量，得到不同磨削参数下的粗糙度；用日立S-4800冷场发射电子显微镜对加工表面进行观测，得到被磨试件的表面形貌图像．结果加工表面粗糙度随砂轮线速度的增大而减小，随径向进给速度的增大而增大，随轴向振荡速度的增大而减小．砂轮线速度对被加工表面粗糙度影响最大，随着砂轮速度的增大，粗糙度由0．3401m下降到0．2950m．结论明确了内圆磨削氮化硅陶瓷试件时不同磨削参数对表面粗糙度的影响，通过回归分析，探索出

3、了不同线速度下氮化硅陶瓷材料去除机理对其表面形貌产生的影响．关键词：磨削；氮化硅陶瓷；均匀性试验；表面形貌中图分类号：TH145．11文献标志码：AAnalysisontheFactorsthatInfluencesontheInternalGrindedSurfaceofSiliconNitrideCeramicWUYuhou，ZHUZhengjie，WANGHe(SchoolofTrafficandMechanicalEngineering，ShenyangJianzhuUniversity，Shenyang，China，110168)Abstract：Differentgrindin

4、gparametersofsiliconnitrideceramicininternalgrindingprocesshavebeenstudied：theimpactofgrindingspeed(v。)，radialfeedspeed(f)andaxialoscillationspeed()totheroughnessofsiliconnitrideferruleinternalsurface．Siliconnitrideceramicferruleinternalcirclewereper-formedbasedontheresinbonddiamondgrindingwheelth

5、egrindingexperiments．TheuniformexperimentsOf3factorshavebeenaccomplished．ThesurfaceroughnessofgrindedworkswasmeasuredbyTaylor．Hob—sonSurtronic25typecontactroughnessinstrumentandroughnessofdifferentparametershasbeenacquired．Theimageofthegrindedsurfacetopographywasacquiredbyobservingthegrindedsurfac

6、ewithHitachiS一4800field．emissioncoldelectronmicroscope．Withtheincreaseofthelinespeed。theroughnessdecreaseswhiletheradialfeedspeedandaxialoscillationspeedincrease．Thegrindingspeedofthegrindingwheelhasthegreatinfluencesontheroughnessofthegrinded．Withtheincreaseofthegrindingspeed，theroughnessofthegri

7、ndedsurfacedeclinesfrom0．3401mtO0．2950m．Ithasstudiedtheimpactofthegrindingparameterstothegrindedsurfaceintheexperimentofsiliconnitrideceramicsinternalgrindingandestab-lishedtheempiricalformulaforsiliconnitridecer