jb-t8320-1996_电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管

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1、中华人民共和国机械行业标准JB/T8320-1996电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管1主题内容与适用范围本标准规定了电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管(下称涂层管)的结构、规格尺寸、技术要求、检验方法和规则等。本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英玻璃管。弓!用标准GB3284石英玻璃化学成分分析方法GB5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法GB9657半导体用透明石英玻璃管GB10701石英玻璃热稳定性检验方法术语3.1晶纹石英玻璃管拉制过程中，在管壁上形成各种微小不闭合的炸纹.3.2生料颗粒石英玻璃管内、外壁上在熔制过程中所粘

2、附的未熔化的石英质颗粒。33透明颗拉石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。3.4波纹气炼透明石英管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。3.5色斑在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。3·‘气泡群石英玻璃管壁中由微小气泡(小于标准中的气泡的下限尺寸)密集而成的群集泡.3.7揪痕排除石英玻璃管上较大杂质点、气泡等弊病操作后留下的痕迹.3.8暗疤气炼产品壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面玻璃态(俗称雪花、破皮或梅花).在高温熔烧中发橙色亮光。3，析晶石英玻璃管在高温下发生的晶形转变，造成低温下失透.3.10弯曲度石英玻璃管实际中轴线对标称中轴线的最大偏离距离与标称中轴线长

3、度之比。机械工业部1996-04-01批准1996-10-01实施45JB/T8320-19963.11炸裂石英玻璃管受外界温度变化影响发生的破裂。3.12涂敷层在石英玻璃管壁(内或/和外壁)制成的耐高沮薄息。3.13桔皮涂敷层上出现的“桔皮，状凹凸不平的区域.3.14基体管;坯管制作涂层石英玻璃管时，欲在其表面制作涂敷层的原透明石英玻璃管.3.15热稳定性石英玻璃承受温度剧变的能力.用试样承受加热至规定的上限温度t,,随即放入冷水(或空气)中的下限温度t:所造成的温差

4、1涂层管是由基体管和创作在其管壁表面的涂敷层两部分构成。4.2涂敷层可制作在基体管的外管壁，也可制作在内管壁，或者内、外管壁都制作涂敷层。5外形尺寸5.1各种涂层管的外形尺寸范围见表1,表1rnm外径范圈外径公差壁厚范围璧厚公差必50^-60士2.02.5-3.5士0.3必61.70{{土0.3必71^-80士2.03.0-3.5士0.4必81--90士2.53.0-4.0士0.4必91-100士2.53.5-4.5士0.5必101-120士3.03.5-5.0士06曰121-150士瓦03.5-5.5土0.65.2各种涂层管的标准长度为Im,1.5m和2m三两种.管子为两端开口

5、亦可一端开口。封口管其弧度部分不包括在井示准长度之内。5.3特殊形状的石英玻璐管由用户与厂家合同中规定。‘技术要求‘.1外形尺寸公差6.1.1外径和壁厚的公差见表1.‘.1.2偏壁度:同一横截面璧厚之差不得大于壁厚公差绝对值。‘.1.3椭圆度:同一横截面长短轴之差不得大于外径公差绝对值.‘.1.4弯曲度:1m长度涂层管不大于千分之三，1.5m和2m长度涂层管不大于千分之四。6.1.5涂敷层区:长度一般术小于600mm,6.2杂质含量a6JB/T8320一199‘‘.2.1基体管中杂质含量应符合表2要求.表2PPm杂质UN.C.决L‘Cu总含盆、含量4444O.吕200丘2涂层区石

6、英玻璃管杂质含量指标与测试方法由企业标准给出.丘物理性能指标涂层石英管的物理性能指标应符合表3要求.表3析品性能-书黔二斗一嘿黔二一由创造厂给出注:作热稳定性的样品，段.其中未涂层部分不得少于10mm，但不得多子30mm。“外观要求)6.4.1涂敷层应表面光滑，透明或颜色均匀，不能有剥皮、顺校、裂纹等。但允许有少t小面积的枯皮。桔皮长径应小于10mm，总数里不超过3块.‘.4.2涂层管的其它外观应符合表4要求。表4项目指标直径，rnm(0.5气泡数t，个/cm，(8长径。mm《10气泡群总数，个/1oocm，《牙长径，mm成5暗疤数t，条/100。m，(3{长径.mm成2.0色斑

7、致址.个/10cm，‘l0深度，mm‘0，3必30~90二m直径.mm《13管材}数盆，个/m‘4歌痕一一!深度。mm(0，3必91~150mrn’直径。mm成1S管材数量.个/m簇lO透明顺位个/m‘lo内壁波纹mm‘0。4晶纹、云雾、析晶、裂纹、指坟印、生料顺校‘不允许7出厂检验和型式试验71同种原料、同种工艺在基本相同条件下生产的产品形成生产批.检验批可以是生产批，也可以小于生产批，47JB/T8320-19967.2出厂检验7.2.1产品交货时，应按表6规定的项目进行出厂