ic封装设备直线电机定位精度试验研究

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1、第8期组合机床与自动化加工技术No.82014年8月ModularMachineTool&AutomaticManufacturingTechniqueAug.2014文章编号:1001—2265(2014)08—0049—04DOI:10.13462/j.enki.mmtamt.2014.08.014IC封装设备的直线电机定位精度试验研究邱彪,黄美发,常青青,刘亚奇(1.桂林电子科技大学机电工程学院,广西桂林541004;2.北京中电科电子装备有限公司,北京100176)摘要:直线电机凭借其优异的传动性

2、能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试,发现直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不大,且定位精度具有累计性。最后,根据功能要求采用分段补偿方法对直线电机定位精度进行误差补偿,试验结果表明该误差补偿方法简单易行。关键词:直线电机;定位精度;激光干涉仪;误差补偿中图分类号:TH39;TG506文献标识码:AExperimentalStudyfo

3、rPositioningAccuracyofLinearMotorIntheICPackagingEquipmentQIUBiao,HUANGMei—fa,ChangQing—qing,LIUYa—qi(1.SchoolofMechanical&ElectricalEngineering,GuilinUniversityofElectronicTechnology,GuilinGuan—gxi541004,China;2.BeijingElectronicsEquipmentCompany,Ltd,Bei

4、jing100176,China)Abstract:ThelinearmotoriswidelyusedintheICpackagingequipmentwithitsexcellenttransmissionper—formanceanditspositioningaccuracydirectlyaffectstheoverallaccuracyofthedevice.Toimprovethepo-sitioningaccuracyofthelinearmotor,theAgilentlaserinte

5、rferometerisusedtotestthepositioningaccura-cy.Bytestingthepositioningaccuracyoflinermotorunderdifferentconditions,theresultshowsthatchan—gesofspeedandaccelerationforlinermotorhavelittleeffectonpositioningaccuracyandpositioningaccura-cyarecumulative.Finall

6、y,accordingtothefunctionalrequirements,thisdissertationadoptssub—compensa—tionmethodtoconducterrorcompensationforthepositioningaccuracyoflinearmotor.Thetestresultsindi-catethattheerrorcompensationmethodissimpleandfeasible.Keywords:linermotor;positioningac

7、curacy;laserinterferometer;errorcompensation运动轴的定位误差、直线度误差和角度误差。其中,定O引言位误差相对于直线度误差和角度误差对设备总体精度直线电机驱动系统是以直线电机输出的力矩作为的影响更为显著。为了很好地满足IC封装设备的源动力,用直线导轨规范其直线运动轨迹,并通过光栅工作精度要求,IC封装设备上的直线电机驱动系统采尺来计量进给长度的一种新型的进给传动方式,其中,用的规格参数都很高。由于各种因素的影响,直线电定位精度是直线电机驱动系统的关键指标,大小用定

8、机的进给位移长度仍不能很好的实现程序指令要求。位误差来表示。类比旋转电机传动方式,直线电机驱为此,本文采用Agilent双频激光干涉仪对不同工况下动实现了源动力到机械执行部件之间的“零传动”,消的直线电机定位误差进行测量,并将测量结果进行分除了中间传动环节带来的一系列影响,极大地提高了析,找出实际情况下直线电机定位误差的特性,然后采进给系统的快速反应能力和进给定位精度⋯。因此,取相应的补偿措施来提高直线电机的定位精度,为提直线

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1、第8期组合机床与自动化加工技术No.82014年8月ModularMachineTool&AutomaticManufacturingTechniqueAug.2014文章编号:1001—2265(2014)08—0049—04DOI:10.13462/j.enki.mmtamt.2014.08.014IC封装设备的直线电机定位精度试验研究邱彪,黄美发,常青青,刘亚奇(1.桂林电子科技大学机电工程学院,广西桂林541004;2.北京中电科电子装备有限公司,北京100176)摘要:直线电机凭借其优异的传动性

2、能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试,发现直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不大,且定位精度具有累计性。最后,根据功能要求采用分段补偿方法对直线电机定位精度进行误差补偿,试验结果表明该误差补偿方法简单易行。关键词:直线电机;定位精度;激光干涉仪;误差补偿中图分类号:TH39;TG506文献标识码:AExperimentalStudyfo

3、rPositioningAccuracyofLinearMotorIntheICPackagingEquipmentQIUBiao,HUANGMei—fa,ChangQing—qing,LIUYa—qi(1.SchoolofMechanical&ElectricalEngineering,GuilinUniversityofElectronicTechnology,GuilinGuan—gxi541004,China;2.BeijingElectronicsEquipmentCompany,Ltd,Bei

4、jing100176,China)Abstract:ThelinearmotoriswidelyusedintheICpackagingequipmentwithitsexcellenttransmissionper—formanceanditspositioningaccuracydirectlyaffectstheoverallaccuracyofthedevice.Toimprovethepo-sitioningaccuracyofthelinearmotor,theAgilentlaserinte

5、rferometerisusedtotestthepositioningaccura-cy.Bytestingthepositioningaccuracyoflinermotorunderdifferentconditions,theresultshowsthatchan—gesofspeedandaccelerationforlinermotorhavelittleeffectonpositioningaccuracyandpositioningaccura-cyarecumulative.Finall

6、y,accordingtothefunctionalrequirements,thisdissertationadoptssub—compensa—tionmethodtoconducterrorcompensationforthepositioningaccuracyoflinearmotor.Thetestresultsindi-catethattheerrorcompensationmethodissimpleandfeasible.Keywords:linermotor;positioningac

7、curacy;laserinterferometer;errorcompensation运动轴的定位误差、直线度误差和角度误差。其中,定O引言位误差相对于直线度误差和角度误差对设备总体精度直线电机驱动系统是以直线电机输出的力矩作为的影响更为显著。为了很好地满足IC封装设备的源动力,用直线导轨规范其直线运动轨迹,并通过光栅工作精度要求,IC封装设备上的直线电机驱动系统采尺来计量进给长度的一种新型的进给传动方式,其中,用的规格参数都很高。由于各种因素的影响,直线电定位精度是直线电机驱动系统的关键指标,大小用定

8、机的进给位移长度仍不能很好的实现程序指令要求。位误差来表示。类比旋转电机传动方式,直线电机驱为此,本文采用Agilent双频激光干涉仪对不同工况下动实现了源动力到机械执行部件之间的“零传动”,消的直线电机定位误差进行测量,并将测量结果进行分除了中间传动环节带来的一系列影响,极大地提高了析,找出实际情况下直线电机定位误差的特性,然后采进给系统的快速反应能力和进给定位精度⋯。因此,取相应的补偿措施来提高直线电机的定位精度,为提直线

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