超临界流体镍基金刚石复合电铸的实验研究-论文.pdf

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1、2014年3月电镀与环保第34卷第2期(总第196期)lo2一lo5．3结论[2]杨防祖，吴伟刚，田中群，等．铜电化学沉积在微孔金属化中的应用[J]．物理化学学报，201l，27(9)：2135～2140．依次采用化学镀铜和脉冲镀铜的方法，实现了[3]余德超，谈定生．电镀铜技术在电子材料中的应用[J]．电镀与电子线路板上布刻微沟槽的金属化填充。借助工具涂饰，2006，26(2)：4346．显微镜和扫描电镜观察发现：填充铜层较平整、连[41齐雪莲，任春生，张健，等．射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜续，且基本覆盖微沟槽底面，仅出现轻微漏镀状况；的影响[J]．核聚变与等离子体物理，2

2、007，27(3)：264—268．收稿日期：2012—09—21此外，镀铜层晶粒细致且结构致密，间接表明其电阻率较低，导电性能较好。参考文献[1]陈达宏．印制电路L金属化[J]．电子工艺技术，2001，22(3)超临界流体镍基金刚石复合电铸的实验研究AnExperimentalResearchonNickelDiamondParticlesCompositeElectroformingProcessinSupercriticalFluids钱蜜，雷卫宁。，刘维桥，唐从顺，姜博(1．常州大学机械工程学院，江苏常州213016；2．江苏技术师范学院机械与汽车工程学院，江苏常州2

3、13001)QIANMi，LEIWei-ning，LIUWei—qiao，TANGCong—shun，JIANGBo(1．SchoolofMechanicalEngineering，ChangzhouUniversity，Changzhou213016，China；2．SchoolofMechanicalandAutomobileEngineering，JiangsuTeachersUniversityofTechnology，Changzhou213001，China)摘要：介绍了超临界流体镍基金刚石复合电铸的实验方法及工艺。采用扫描电镜和显微硬度仪表征镍基金刚石复合电铸层

4、的表面形貌和显微硬度，分析金刚石微粒的质量浓度和工作压力对复合电铸层显微硬度的影响，并与普通复合电铸层的进行对比。结果表明：超临界CO。流体独特的理化特性，可有效提高镍基金刚石复合电铸层的表面质量。工作压力为1O～14MPa时，超临界CO流体环境对金刚石微粒的分散效果良好。在工作压力10MPa，金刚石微粒50g／L时，复合电铸层的显微硬度达到9100MPa。关键词：超临界CO。流体；金刚石微粒；复合电铸；微观形貌；工作压力Abstract：TheexperimentalmethodandprocessofNi—diamondcompositeelectroformingund

5、ersupercriticalfluidenvironmentareintroduced．Thesurfacemorphologyandmicro—hardnessofNi—diamondcompositeelectroforminglayerwerecharacterizedbyscanningelectronmicroscopeandmicro—hardnesstester，theeffectsofthemassconcentrationofdiamondgrainsonthemicro—hardnessofthecompositeelectroforminglayerw

6、ereanalyzed，whichwasalsocomparedwithcommonelectroforminglayers．TheresultsshowthatthesurfacequalityofNi—diamondcompositeelectroforminglayercanbeeffectivelyimprovedbytheuniquephysicalandchemicalcharacteristicsofCO2supercriticalfluid．Whentheworkingpressureis10～40MPa，theC02supercriticalenvironm

7、enthasagooddistributioneffectonthediamondparticles．Whentheworkingpressurewas10MPaandthemassconcentrationofdiamondparticlesis50g／L，themicro—hardnessofthecompositeelectroforminglayercanreach91O0MPa。Keywords：C02supercriticalfluid；diamondparticle；compositeel