m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究-论文.pdf

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1、第35卷第6期发光学报V01．35No．62014年6月CHINESEJOURNAL0FLUMINESCENCEJune．2014ArticleID：1000—7032(2014)06-0678-06Epitaxial(110)-orientedCubicMgZnOFilmsonm·planeSapphireforSolar·blindUVPhotodetectorsZHENGJianl一，ZHANGZhen—zhongh，ZHANGji—yin91，LIUYi—chun3，WANGShuang—pe

2、n91，JIANGMing—min91，CHENXin91，LIBing—huil，ZHAODong—XUl，UULei1，WANGLi．kunl’。，SHANChong—xinl，SHENDe—zhenl(1．StateKe)LaboratoO"ofLuminescenceandApplications，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China；C

3、hinese2．UniversityofAcademyofSciences，Beijing100049，China；3．CenterforAdvancedOptoelectronicFunctionalMaterialsResearch，NortheastNormalUniversit)，Changchun130024，China){CorrespondingAuthor．E—mail：exciton@163．comAbstract：AseriesofMg。ZnI一。0alloyfilmsweregr

4、ownonm—planesapphirebylow-pressuremetalorganicchemi—calandstructuralcharacterizationsindicatedthatthefilmswithZnmolevapordeposition(LP—MOCVD)．Opticalfractionto55％aretheoffilmis4．7eV．Theupsingle—cubic—phased，andopticalbandgapMgo45Zn()550epitaxialrelation

5、shipsbetweensubstrateandrocksaltMgZnOlayersweredeterminedas(110)MgznOII(1010)㈨州。，[001]咐nI)II[1210]。。f，f^．。，and[110]M#z。()II[0001]，。Pph。。．Thefixeduniformorientationofthefilmswasaccompaniedbyanim—provementincrystalquality．Ametal—semiconductor—metalstructu

6、redsolar—blindultravioletdetectorfabricatedonMgo45Zno550filmshowedaresponsepeakat260nmandasharpcutoffat278nm．Keywords：cubicMgZnO；(110)一oriented；solar—blindUVphotodetectors；MOCVDCLCnumber：0484．4Documentcode：ADOI：10．3788／fgxb20143506．0678m面蓝宝石上外延(110)取向立方

7、MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究郑剑1’2，张振中卜，张吉英1，刘益春3，王双鹏1，姜明明1，陈星1，李炳辉1，赵东旭1，刘雷1，王立昆1’2，单崇新1，申德振1(1．发光学及应用国家重点实验室中围科学院长春光学精密机械与物理研究所，占林长春130033：2．中国科学院大学．北京100049：3．东北师范大学先进光电子功能材料研究中心，吉林长春130024)摘要：由于在日盲紫外探测方面的应用前景，具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注。获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升M

8、gZnO基日盲紫外探测器性能至关重要。本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP—MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的M‰Zn。。0薄膜。光学和结构特性测试结果表明：zn摩尔分数达到55％的Mgo。，Zn¨，0薄膜依然是单一立方相，其光学带隙可以达到4．7eV。立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)。刚，

9、l(1010)。讪⋯收稿日期：2014—03．03：修订日期：2014—04—14基金项目：国家重点基础研究