欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:5364970
大小:185.51 KB
页数:5页
时间:2017-12-08
《倾斜镜面成像的自动调焦方法》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第31卷第12期光电工程Vol.31,No.122004年12月Opto-ElectronicEngineeringDec,2004文章编号:1003-501X(2004)12-0034-04倾斜镜面成像的自动调焦方法1,21孟永宏,靳刚(1.中国科学院力学研究所国家微重力实验室,北京100080;2.中国科学院研究生院,北京100039)摘要:倾斜镜面成像系统的像面与光轴倾斜,仅利用轴向自动调焦无法实现像面整体清晰。为此提出一种基于图像清晰度判断的自动调焦方法。该方法将轴向调焦与角度调焦相结合,通过步进方式平移和旋转像接收面,利用离焦函数
2、判断聚焦情况,采用数据拟合回归的方法实现了像面整体清晰。该方法在椭偏成像系统的应用结果验证了其有效性,调焦精度达到微米量级。关键词:自动调焦;角度调焦;椭偏成像;倾斜镜中图分类号:TB851文献标识码:AAnautomaticfocusingmethodfortheimagingofanillumination–tiltedspecular-reflectionimagingsystemMENGYong-hong,JINGang(1.StateKeyLaboratoryofMicrogravity,InstituteofMechanics,
3、theChineseAcademyofSciences,Beijing100080,China;2.GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China)Abstract:Theimageplaneofillumination-tiltedspecularreflectionimagingsystem(TSIS)isnotperpendiculartotheopticalaxes,whichmakesauto-focusinginopticalaxesdirectio
4、nunavailable.Inordertosolvethisproblem,anauto-focusingmethodbasedonimagebrightnessgradientsharpnessfunctionisproposed,whichcombinesauto-focusinginopticalaxesdirectionandangle-tiltedauto-focusingbystepmovingandrotatingimagingsensorsuccessively.Theauto-focusingmethodcanmakep
5、lanarimageclearlyinwholeimageplanebyusingdefocusingfunctionanddatafittingmethod.Experimentresultfromimagingellipsometrysystemdemonstratesitsavailabilityanditsprecisionreachesmicronorder.Keywords:Automaticfocusing;Anglefocusing;Imagingellipsometry;Tiltmirror引言纳米薄膜材料在分子生物学、生
6、物化学、电化学、材料学、微电子学等领域具有广泛的应用,与此同时,纳米薄膜检测技术获得迅速的发展,作为非接触、快速的纳米表面成像测量方法,椭偏成像测量(Imaging[1-3][4-7]Ellipsometry,简称IE)和等离子体共振成像(SurfacePlasmaResonanceImaging,简称SPRI)技术可满足对纳米膜层进行纵向分辨率为纳米量级、横向分辨率为微米量级的检测。以成像的观点来看,二者至少具有如下共同点:(1)样品可视为二维平面(因为薄膜厚度为纳米量级,而横向尺度为毫米、甚至厘米量级);(2)样品表面与光轴成一倾斜夹角
7、;(3)样品的表面接近镜面,反射光波进入像接收器件。为讨论方便,本收稿日期:2004-04-16;收到修改稿日期:2004-08-26基金项目:(1)国家自然科学基金资助项目(90206029,60178033);(2)中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX1-SW-07-03)作者简介:孟永宏(1974-),男(汉族),陕西大荔人,工程师,硕士生,目前主要研究方向为纳米薄膜的光学检测方法、仪器及其在蛋白质芯片方面的应用,E-mail:yhong@imech.ac.cn。通讯作者简介:靳刚(1957-),男(汉族),北京市人,研究员,博士
8、,博士生导师,目前主要研究方向为纳米生物工程,着重于光学生物传感器和光学蛋白质芯片研究。E-mail:gajin@imech.ac.cn2004年12月孟永宏等:倾斜镜面成像的自
此文档下载收益归作者所有