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1、第42卷第S2期红外与激光工程2013年12月VO1.42No.S2InfraredandLaserEngineeringDec.2013光刻机智能控制系统设计王楠-,蒋薇,一,严伟,胡松(1.中国科学院光电技术研究所,四川成都610209;2.中国科学院大学,北京100049;3.四川大学,四川成都610065)摘要:随着光刻工艺要求的提升,光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题,但该设计体积大,功耗高,震动大,且人机交互性不强,多路实时监控难以集成。鉴于此,设计了一种
2、基于平板电脑的光刻机控制设备,该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成,通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器$3C2440作为核心,图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时,图像采集卡首先对视频图像进行预处理,接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示,用户通过控制终端进行操作,最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合,实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享,使光刻机更加智能化和现代化。关键词:光刻
3、机;FPGA;ARM;智能控制中图分类号:TP23文献标志码:A文章编号:1007-2276(2013)$2-0317-06DesignoflithographymachineintelligentcontrolsystemWangNan,JiangWei’-,YanWei,HuSong(1_InstituteofOpticsandElectronics,TheChin~AcademyofScience,Chengdu610209,China;2.UniversityofChineseAcademyofSciences,
4、Beijing100049,China;3.SichuanUniversity,Chengdu610065,China)Abstract:thedevelopmentoflithography.1ithographytoolsrequireforahigherdegreeofautomationandintelligence.LithographytoolsbasedonthetraditionalIPC(IndustrialPersonalComputer)havesolvedthisproblempartly,but
5、itexistedshortcomings:highpowerconsumption,weakhuman—computerinteractionandlowdegreeofautomation.Forthese,akindofcontrolequipmentbasedonpanelPCwasprovided.ThisequipmentWascomposedofpanelPC,videocapturecardandmotioncontrolcard.communicatingwimeachotherbyUSBandseri
6、alport.rI1lePanelPCused$3C2440asprocessorcore;imageacquisitioncardusedEF2C8Q208C8astheprocessorcore;motorcontrolboardusedAT89C52asprocessorcore.~Vhenitisrunning,videocapturecard,firstofall,efectivelyhandledofvideoimage.andthensentthemtothepanelPCforprocessingandd
7、isplaying.111eoperationofusers,finally,wascompletedbythemotioncontrolcard.rI'llisequipmentisinnovativetocombinethePanelPCwithlithographytols,andrealizestheintelligentcontrolandonlineresourcessharing,which收稿日期:2013-08-24;修订日期:2013—09—25基金项目:国家自然科学基金(61274108)作者简介:
8、王楠(1990一),男,博士生,主要从事嵌入式系统设计与三维形貌测量方面的研究。Email:705679317@qq.CO1导师简介:胡松(1965一),男,研究员,博士生导师,主要研究方向为光刻设备机械设计与整机研发。318红外与激光工程第42卷makelithographymachinesmoleintellig
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