光刻机智能控制系统设计

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1、第42卷第S2期红外与激光工程2013年12月VO1．42No．S2InfraredandLaserEngineeringDec．2013光刻机智能控制系统设计王楠-，蒋薇，一，严伟，胡松(1．中国科学院光电技术研究所，四川成都610209；2．中国科学院大学，北京100049；3．四川大学，四川成都610065)摘要：随着光刻工艺要求的提升，光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题，但该设计体积大，功耗高，震动大，且人机交互性不强，多路实时监控难以集成。鉴于此，设计了一种

2、基于平板电脑的光刻机控制设备，该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成，通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器$3C2440作为核心，图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心，运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时，图像采集卡首先对视频图像进行预处理，接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示，用户通过控制终端进行操作，最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合，实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享，使光刻机更加智能化和现代化。关键词：光刻

3、机；FPGA；ARM；智能控制中图分类号：TP23文献标志码：A文章编号：1007-2276(2013)$2-0317-06DesignoflithographymachineintelligentcontrolsystemWangNan，JiangWei’-，YanWei，HuSong(1_InstituteofOpticsandElectronics，TheChin~AcademyofScience，Chengdu610209，China；2．UniversityofChineseAcademyofSciences，

4、Beijing100049，China；3．SichuanUniversity，Chengdu610065，China)Abstract：thedevelopmentoflithography．1ithographytoolsrequireforahigherdegreeofautomationandintelligence．LithographytoolsbasedonthetraditionalIPC(IndustrialPersonalComputer)havesolvedthisproblempartly，but

5、itexistedshortcomings：highpowerconsumption，weakhuman—computerinteractionandlowdegreeofautomation．Forthese，akindofcontrolequipmentbasedonpanelPCwasprovided．ThisequipmentWascomposedofpanelPC，videocapturecardandmotioncontrolcard．communicatingwimeachotherbyUSBandseri

6、alport．rI1lePanelPCused$3C2440asprocessorcore；imageacquisitioncardusedEF2C8Q208C8astheprocessorcore；motorcontrolboardusedAT89C52asprocessorcore．~Vhenitisrunning，videocapturecard，firstofall，efectivelyhandledofvideoimage．andthensentthemtothepanelPCforprocessingandd

7、isplaying．111eoperationofusers，finally，wascompletedbythemotioncontrolcard．rI'llisequipmentisinnovativetocombinethePanelPCwithlithographytols，andrealizestheintelligentcontrolandonlineresourcessharing，which收稿日期：2013-08-24；修订日期：2013—09—25基金项目：国家自然科学基金(61274108)作者简介：

8、王楠(1990一)，男，博士生，主要从事嵌入式系统设计与三维形貌测量方面的研究。Email：705679317@qq．CO1导师简介：胡松(1965一)，男，研究员，博士生导师，主要研究方向为光刻设备机械设计与整机研发。318红外与激光工程第42卷makelithographymachinesmoleintellig