自准直仪光学系统设计

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1、第!"卷第"期应!用!光!学9).:!";):"#$%&年'月()*+,-.)/011.234516278<31=#$%&文章编号!%$$#>#$?#!#$%&"$">$@'&>$"自准直仪光学系统设计周!丹!向!阳!高!健!长春理工大学光电工程学院$吉林长春%!$$##"摘!要"设计一种能同时进行两维测量的#智能化的数显式自准直仪!该光学仪器可用来进行小角度测量$系统设计波长为A@$,D!为了达到%D的焦距!同时也缩小系统的体积!自准直仪采用折返式结构$系统中使用位置敏感探测器%G

2、器!仪器的指标满足设计要求"测量范围为IAJ!精度为$:%K$通过L3D-M仿真对自准直仪主光路进行设计及优化!出射为平行光束!由足迹图观测被测面接收到的光分布均匀!能够满足实际生产中的需要$关键词"光学设计'自准直仪'长焦距'折返式结构'位置敏感探测器%G

3、F)*H-,!TF-,QTF*,U,2V3+826W)/<723,73-,4C,Q2,33+2,Q$<7F)).)/516)>C.376+),27C,Q2,33+2,Q$TF-,QTF*,%!$$##$TF2,-"23*&4('&&0,,)V3.F2QF>1+37282),2,63..376*-.2E343.376+),2742Q26-.4281.-W-*6)7)..2D-6)+/)+6X)>42D3,82),-.1F)6)D36+WX-84382Q,34$XF27F7)*.4Y3*8346)D3

4、-8*+38D-..-,Q.38:NF3X-V3.3,Q6F)/6F38W863DX-8A@$,D:NF3/).4Y-7Z8W863DX-8-4)16342,)+43+6)+3-7F%D/)7-..3,Q6F-,4+34*736F3V).*D3)/6F38W863D:NF31)8262),83,8262V3436376)+!G

5、F3+3[*2+3D3,686F-66F3D3-8*+3D3,6+-,Q3X-8IAJ-,46F3-77*+-7WX-8$:%K:NF3)1627-.1-6F8W863D)/6F3-*6)7)..2D-6)+X-84382Q,34-,4)162D2E34YWL3D-M:NF33D3+Q3,6+-W8X3+31-+-..3.-,46F3+-W8+3732V34YW6F34363+D2,-,4X3+3F)D)Q3,3)*8-88F)X,2,/))61+2,642-Q+-D:NF383+38*.687-

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7、准直原理$用来观察目标位置的变化%自准过光电传感器完成测量$而光电探测器技术(半导直仪被广泛应用于直线度测量(平行度测量(分度体技术及计算机技术的进步使得光电自准直仪的机构的分度误差检验等精密测量领域%精度有了很大的提高%本文采用位置敏感探测器自准直仪的发展过程为目视式(光电指零式!G$!>%'#

8、!修回日期!#$%&>$A>%@作者简介!周丹!%''$B"$女$吉林九台人$硕士研究生$主要从事光学设计工作%C>D-2.&EF)*4-,%''$$%#%!%#A:7)D应用光学!#$%&$!"!""!周!丹$等&自准直仪光学系统设计)@'")%!自准直仪概述G