对高级别洁净厂房空调设计的探讨.pdf

《对高级别洁净厂房空调设计的探讨.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、洁净与空调技术CC&AC2004年第2期科技综述·21·中国电子工程设计院张利群!摘要微电子、光电子产业是国民经济和科学技术的基础，发展迅速，更新换代快，对环境要求严格，初投资高、运行费大，要求安全、可靠、灵活，对这样的洁净厂房，本文提出一些行之有效的方法，供设计参考。关键词微电子光电子FFU干盘管更新换代升级ProbeontheHVACSystemDesigninCleanroomsofHighLevelCleanlinessClassByCHANGLicun"AbstractAsthefoundationfornationadeconomyandscience

2、andtechnodogy,theindustriesofmi-croedectronicsandphotoedectronicsarecharacterizedwithfastdevedopment,guicknewgenerationemerging,strictreguirementsforenvironment,andhighprimarycostandoperationcost,whidetheirsafety,rediabidityandfdexibidityarereguired.Withregardtothecdeanroomforaboveind

3、ustries,somemethodsaredis-cussedasreferenceforeffectivedesign.KeywordsMicroedectronicsPhotoedectronicsFFUDrycoodingcoidNewgenerationemergingUpdating"ChinaElectronicEngineeringDesignlnstitute电路技术就要更新一代。今后十年，是我国微电1微电子和光电子产业的发展及其生子产业蓬勃发展的时期，当前，六省（广东、江产环境的特点苏、山东、福建、浙江、四川）三市（上海、北1.1微电子和光电子

4、产业的发展京、天津）的产业基地“硅谷”有的业已建成，当今世界，微电子和光电子产业是一个国家有的正集中力量创建，有的已在规划之中。国民经济和科学技术发展的基础和平台，微电子光电子产业是继微电子技术之后近10年内迅和光电子产业发展是衡量一个国家经济发展和科速掘起的新兴的高科技产业，它集中了固体物理，学技术水平的重要标志。发达国家美、日、欧都导波光学、材料科学、微细加工、微电子技术等极为重视，投入大量的人力、物力、财力来研究科研成就，是微电子技术和光子技术的结合扩展和发展微电子和光电子技术。我国“十五”规划产物。它以液晶显示器（LCD）、等离子体中也明确指出要“重点发展

5、集成电路、新型元器（PDP）、发光二极管（LED）为代表。尤其是薄膜件、计算机和通信设备”，争取用10~15年的时晶体管有源矩阵液晶显示器（TFT-LCD），它是微间，把我国建成世界电子信息产业的强国。以集电子技术和透射式彩色液晶显示器技术的完美结成电路芯片生产为代表的微电子产业，在未来10合，是利用微电子精细加工技术，硅材料处理技年全世界的年平均增长率将高达15%，到2010年术，在大面积玻璃基板上生长硅（Si）材料和TFT全世界的年销售额将达到6000~8000亿美元，到那时我国将成为全球第二大的半导体市场。集成!张利群，男，1940年8月生，大学，研究员高工

6、，副总工电路的发展规律告诉我们，每隔2-3年芯片的集518031深圳市华发北路2号成度要增加4倍，其特征尺寸要减少30%，年产（0755）82364622品销售价降低30%，这就意味着每隔2-3年集成收稿日期：2003-12-17·22·科技综述洁净与空调技术CC&AC2004年第2期平面阵列的工艺技术与成熟的LCD制造工艺的结求极为严格和苛刻，而且随着技术的不断发展、合。其对生产环境，原材料的纯度，生产设备和更新换代对环境的要求也不断的升级。以集成电生产技术的要求都等同于甚至超过大规模集成电路为例，由于集成电路的集成度不断提高，特征路，是现在大生产中的顶尖技术。

7、在我国的上海、尺寸不断减少，圆片面积的越来越大、加工序数广东、长春、武汉、北京和合肥等省市都有自己越来越多等对生产环境的要求也就越来越高越严。的基地“光谷”。到20l0年全世界以光电子信息它对生产环境的要求可用“纯”、“净”、“精”技术为主体的信息产业的产值将高达50000亿美三个字来表达。“纯”工艺对所用的原材料、水、元，将成为2l世纪的最大产业。溶剂、各种气体的纯度要求越来越纯；“净”，工l.2微电子和光电子产业对生产环境的要求艺对空气、水、气体的洁净度要求越来越净；以集成电路为代表的微电子产业和以TFT-“精”工艺对环境的温度和相对湿度的精度要求越LCD为代

8、表的光电子