半导体工厂供电系统数据采集与监视控制系统规划与应用

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1、半导体工厂供屯系统数据采集与监视控制系统规划与应用孙国政(中国电子系统工程第二建设有限公司江苏无锡214072)摘要：本文着重介绍半导体工厂供电系统数据采集与监视控制系统(PowerSCADA)方案的设计、应用及需要注意的问题。关键词：供电系统数据采集与监视控制远程测控终端RTU集中监控中图分类号：TM726．2文献标识码：B文章编号：1002—3607(2013)12—0042—021。引言负荷中心等方式组建的集中监控子站、监控终端变电站。半导体工厂供电电源进线由供电部门引入，一般建(2)集中监控主站与子站之间采用光纤通讯环网通

2、有1座110kV或220kV的总降变电站，总降变电站进行降讯。在监控子站和变电站安装通讯设备，利用电力线路光压后，向次级总降或直接向终端变电站提供电源。整纤差动保护光缆或通讯光缆形成传输通道，将信息上传至个供电系统由数个高压变(配)电和数十条电缆线路组监控子站，保证集中监控的可靠性和数据传递的速率。成。这些供电设施分布各个生产厂房，为各生产流程提(3)终端变电站的监控系统满足集中监控的要供所需的电力供应。供电系统的可靠、稳定运行对半导求。需要注意的是PowerSCADA功能的最终实现不仅仅体工厂来说是至关重要的，目前普遍实施供电系

3、统数据需要电力二次设备的配合，一次设备也需要做到相应的采集与监视控制(PowerSCADA)提高供电系统的可靠要求，如：对于空气绝缘的敞开式开关设备(AIS)柜，性及自动化管理。若需要实现温度在线监测则需要安装相应的无线测温装2．数据采集与监视控制系统(Power置；对于低压柜，若需要实现远动功能，则开关需要选SCADA)构想与规划择带有电动操作机构和报警接点的断路器等。2．1PowerSCADA的含义2．3PowerSCADA实现的功能全厂PowerSCADA是指对一定区域内数个变电站组成(1)终端变电站层：一般要装设有变电站综

4、合自动的供电系统实行集中监控，包括对变电站站内的运行设备化设备或RTU设备，本站能够独立运行，实现本站数据采集中监控系统、消防报警系统及温度检测系统实现综合自集和数据处理，控制和事件记录与报警，事故追、历史事动化管理，设立集中监控子站、信息传输系统和集控总站。件及数据的查询，显示、查询功能，安全保护，远方通讯功2．2PowerSCADA的规划能与系统扩展。并目．有远动设备，能将本站信息处理后向上半导体工厂供电系统(电压6kV及以上)的变电站一级站传输。整个变电站可实现无人值守。数量多，各站空间距离短，一个降压站下属多个低压(2)监

5、控子站层：能使数据和报告上传主站，数(400V、200V)配电站，距离生产设备近，直接启动设据和指令下达到终端站，设计成有人值班，一般应是中备多。对于变电站层级利用微机保护控制装置和SCADA央变电所或负荷中心变电所，除对本所的运行进行监控系统，对于配电站层级利用远程测控终端(RTU)实现外，主要对下属各监控终端站进行监控。它是区域运行对各站的监控数据能够上传。方案设计的思路是在供电管理中心，也是操作人员集中值班场所。系统筹建时充分利用已形成的技术和设备，实现对企业(3)监控主站层：是整个供电系统自动化监控和管全部变电站的集中监控

6、。规划设计方案如下：理的核心，主要负责采集、管理整个系统区域中心(子(1)整个系统采用分层结构，自上至下分为集中监站)传上来的数据；负责数据的处理、存储、事故的报控主站(供电系统调度员站)、按地理位置或电压等级或警，远方的控制，事故的隔离，无故障区域的供电恢复422013年第l2期#巳与1X．衣l11",151ALLAllu等；负责与配电管理多个子系统的接口，实数据共享，网络采用分流／冗余的Linux双网系统，配备相应的操作完成配电信息的管理和维护。具有谐波分析、系统潮流系统(Windows)、数据库软件以及SCADA功能软件包。

7、分析、全站智能化操作闭锁、全网时钟同步等功能，并3．2．3网络结构保留人工直接跳合闸操作出口。采用双服务器冗余，设置通信机间的双端口3．PowerSCADA功能的实现方式IEC60870-5—101冗余，监控机上设置实时数据库冗余等。3．1终端变电站层的实现方式3．3集中监控主站的实现方式终端变电站层的实现方式分为两种：6kVNt以上的变3．3．1基本结构电站采用成熟的变电站综合自动化系统实现，称之为综合采用PowerSCADA系统组成集中监控主站(供电系自动化实现方式；400V(200V)的配电站采用RTU技术和统调度员站)，按

8、地理位置分布在各监控子站之间建立设备进行监控，增加部分消防、防盗、门禁或图像监控技术光纤通信环网，各子站和监控主站都作为环网的一个节和设备，实现变电站无^值守，称之为远动监控实现方式。点，其信息通过光纤通信网进入PowerSCADA系统，完远动监控