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1、光学工艺,lithographyandapplieations(河北光学加工概论[刊中]/宋登元.,,.大学电子与信息工程系河北保定(。71002))王小平T620002.,自(张家口职工大学河北张家口(0750。。))/半导体技由曲面透镜误差修正加工控制的算法一t,200025(2)14一16,thdffr一frrrrrrt术一一〔刊、,,论述了激光全息光刻技术的基本原理发展状况和中]/吴鸿钟冯之敬赵广木(清华大学精密仪器与机械.,在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件方学系北京(100084))/光学技术2
2、00026(6)502一一。面的应用图2表2参l0(李瑞琴)一505,借鉴了在数字图像处理中的一些方法探讨了它的.TN30572001032183,。修正算法并进行了计算机仿真图7参8(李瑞琴)电子束和X射线双曝光制作大高宽比高分辨率的X射arieationorayzoneplatewith线波带片~FbfX一光学加工工艺与设备highaspeetratioandusingbotheleetro一1beamTQ171682001032179,anrayeaexosureteenue-dX一bmphiq〔刊中〕/康数控
3、车削非球面最佳匹配球面的确定与仿真一Deter.,minationandsimulationofoptimummatehing士秀(中国科技大学天文与应用物理系安徽合肥,,(230026))/光学技术200026(6)524一525528sPhereintaeontroturningaspherieenses一一digilllX射.,,介绍了利用电子束和线双曝光技术制作大高[刊中]/耿安兵(华中光电技术所湖北武汉.宽比高分辨率的x射线聚焦或色散元件的新方法所制,(430074))200036(4)z?一22/舰船光学
4、u,一一作的厚度为10拜m的A波带片具有30个波带最外环,论述了最匹配球面的确定方法给出了最匹配球面.。的宽度为。巧拜m图5参3(李瑞琴),和非球面之间最大偏离量及其所处位置用计算机编程。5实现了最匹配球面和非球面的计算与仿真图参2(李.TN30572001032184)-瑞琴ari电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术=Fbeationofthemierosub一mieronoiregratings/M.TQI,1682001032180,usingeleetronbeamlithographymethod〔刊-
5、FP0型超精密锡磨盘平面研抛机的研制一Develop50,.中]/谢惠民戴福隆(清华大学工程力学系北京entoutrareeisiollattinapmfFP500l一pfl一l,,(100084))岸本哲张维(清华大学结构与振动开放实,osngaenephi.lihim〔刊中]/高宏刚(中科院人工晶体,验室北京(100084))/光学技术200026(6)526,,一一研发中心北京(10。。80))陈斌陈琦(中科院长春光机一528.,,所吉林长春(130022))/光学技术200026(6)一一应用电子束刻蚀技术并
6、结合真空镀膜技术提出了,486一488493.制作电子束云纹光栅的新方法首次提出三镀层制作双,介绍了超精密平面研抛机总体设计方案主要包括。频电子束云纹光栅的新工艺图8表3参6(李瑞琴),机床的结构及精度设计的指导思想关键部件的结构与。驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计图3.参TN30572001032185-20(a李瑞琴)长焦距iS微透镜阵列的制作及点扩散函数测量~Fbreationosilieonmieroensesarraywithlongifl,TQ171682001032181foeusandoint
7、spreaunetioneasureentpdfmmroeessingantestingo锥体棱镜的加工与检验一Pdf,,,〔刊中]/何苗易新建黄光(华中理工大学光电子工程,,eornereuerss.bpim[刊中]/耿素杰王文成(长春光,,系湖北武汉(430074))刘鲁勤(中国航天工业总公司.,,.机学院光电系吉林长春(1302))梁荣(中科院长春,二院25所湖北武汉(43074)/华中理工大学学.,,130022))200026.光机所吉林长春(/光学技术,一报200028(7)一16一18一.(6)一538
8、一540针对用常规光刻热熔法制作折射型微透镜阵列的,介绍了锥体棱镜的两种加工工艺及其特点着重叙,过程中临界角效应严重制约了长焦距微透镜阵列制作,述了同时给出了当用干涉法测量,。立方体切角的方法间题提出了曲率补偿法扫描电子显微镜显示微透镜。,,时干涉图的判别原则和棱镜合格时的干涉图特点图6阵列为表面极为平缓的方底拱面阵列表面探针测试结参3(李瑞琴
