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HANBEL维修维护 拆解报告.pdf

HANBEL维修维护 拆解报告.pdf

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1、Pump异常報告厂牌：HANBELL型号：PS160-H序号:1G3814拆解日期：2013/03/25客户:昆山志圣联系人:电话:Pump厂牌:HANBELLPump机型:PS602-HPump序号:1G3814异常原因:正常保养日期:2013/03/25PumpPump外观照外观照DryDryPumpPump异常异常狀況狀況转子严重腐蚀DryDryPumpPump异常异常狀況狀況转子高压端面残留大量制程物DryDryPumpPump异常异常狀況狀況转子严重腐蚀DryDryPumpPump异常异常狀況狀況高压端板表面镀层消失DryDryPumpPump异常异常狀況狀況壳体内镀层

2、消失结论一、Pump问题阐述:转子严重腐蚀，高压端板表面镀层消失，壳体内镀层消失，转子高压端面残留大量制程物。二、原因分析:此pump用于蚀刻制程，回厂时已运行15842H，人机警告显示：W04DP壳体温度高2013/03/07，警报：A04螺旋壳体温度高13/03/07，A03DP马达温度高12/11/22.从拆解状况看，pump内含大量粉尘状制程物无法有效排出，聚集在转子高压端面，造成转子高压端严重腐蚀，壳体及高压端板8字定位圆表面镀层被腐蚀。二、更换料件:更换KIT包、一对转子及人机，壳体/高压端板需重新Coating

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