基于外差干涉的微振动测量技术研究.pdf

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1、第!"卷第"期应!用!光!学9).:!";):"#$%&年'月()*+,-.)/011.234516278<31=#$%&文章编号!%$$#>#$?#!#$%&"$">$?"?>$&基于外差干涉的微振动测量技术研究刘!丹%!郑!宾%!#!郭华玲%!#!刘!辉%!刘乃强%!%:中北大学信息与通信工程学院$山西太原$!$$"%##:中北大学电子测试技术重点实验室$山西太原$!$$"%"摘!要"针对外差干涉的微振动测量存在稳定性低#严重受环境噪声影响等缺点!提出了对光路的改进方案$根据差分原理将其改为双光路!消除环境噪声的干扰%通过偏振分光棱镜&

2、GH<'将椭圆偏振光变为线偏光!提高干涉信号幅值%改进频移装置&05I'!抑制频率漂移%增加光阑!滤除杂散光!提高系统信噪比$通过探测"JKD压电陶瓷振动信号!以及#:"IKD高频激光超声信号进行实验验证!结果表明"信号稳定且无纹波!系统分辨率为#:!,C!信噪比提高%L:@倍$两路干涉信号幅值分别为""#C9和@!LC9!较传统外差干涉信号幅值提高近%$倍!有利于纳米量级微振动信号的检测$关键词"微振动测量%外差干涉%激光超声%线偏振光中图分类号!M;#&@!!!!文献标志码!0!!!!!"#&%$:"@L?'(05#$%&!":$"$!

3、$$L$#%&"'(#)&*+#",-.*/0&#,1+.%2,"3"14)*/.!",2.+.&"!4,.#,+.&5.&.,%.%$PE3,FH2,%$#$Q*)K*-.2,F%$#$N2*K*2%$N2*;-2R2-,F%N2*O-,!%:<7E)).)/S,/)+C-62),-,4T)CC*,27-62),B,F2,33+2,F$;)+6EU,2V3+826W)/TE2,-$M-2W*-,$!$$"%$TE2,-##:;-62),-.X3WN-Y)+-6)+W/)+B.376+),27I3-8*+3C3,6M37E,).)FW$;)

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