微型PDMSSPR传感器研究.pdf

《微型PDMSSPR传感器研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、分类号：——UDC：——密级：编号：微型PDMSSPR传感器研究Micro．PDMSSPRSensorResearch学位授予单位及代码：丝壹堡王态堂l!Q!墨互2学科专业名称及代码：邀电王皇圄笠电王堂!Q墨Q2Q圣2研究方向：电壬堕堕皇迦丛曼这盔申请学位级别：巫主研究生：奎直!f

2、IIfffI

3、㈣IIi

4、IfffIiIffIIIlIfI

5、IfI

6、

7、Ifff嗍{Y1740951长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《微型PDMSSPR传感器研究》是本人在指导教师的指导下

8、，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。储虢至L业年尘月B日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版

9、，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：也年丛月立目导师签名：盏赵进年五月4日学检测技术。SPR传感技术具有免标记检测、实时检测生化反应的动力学过程、无损伤检测等独特的优点。本文从SPR传感器的背景入手，详细介绍了表面等离子体谐振的原理；运用新型聚合物PDMS为棱镜，阐述了棱镜的制作工艺和利用聚合物Parylene脱模的过程；沟道模具的材料选取了聚合物SU一8和单面抛光的硅片，键

10、合也相应的提出了两种不同原理的方案。根据PDMSSPR传感器的测试结果，分析了影响PDMSSPR传感器特性的三个主要因素，给出相应的结论。关键词：表面等离子体谐振，反射率，聚二甲基硅氧烷，聚对二甲苯，环境介质ABSTRACTSurfatePlasmonResonance(SPR)isanewbiochemicalanalyticaltechnologywhichhaswideProspectinmedicine，clinicdiagnosis，environmentalmonitorandfoodde

11、tectionetc．SPRtechnologyhastheadvantageoflabel—freedetection，real—timemonitoring，andnon．invasiveanalysis．ThispaperpresentsfromthebackgroundofasurfacePlasmonresonancebiochemicalanalysisinstrumenttothetechniqueofcouple-prismandtheprocessofusingPalyleneass

12、acrificiallayertopeeloffPDMSprism．PolymerSU-8andsiliconchipaleselectedasthemoldofPDMSSPRchannelandtwodifferentbondingmeasuresaleadvanced．Accordingtothetestresultsofpolymercouple-prismsurfacePlasmonresonancebiochemicalanalysisinstrument，wesunluptheeffect

13、swhichworkonpolymercouple．prismsurfacePlasmonresonancebiochemicalanalysisinstrument，illuminatechieftheoryKeyword：SurfacePlasmonResonance，Reflectance，PDMS，Parylene，TestSample摘j妻⋯．．⋯．．⋯⋯⋯⋯．．．．．⋯．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯．．⋯⋯．．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3ABSTRACT⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

14、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．4目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯1．1研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．61．2研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11第二章表面等离子体共振(SPR)原理．．2．1表面等离子激元共振现象⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯122．2理论模型探讨⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯