平板式压电六维力传感器静态性能研究

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1、学兔兔www.xuetutu.com第50卷第6期机械工程学报VO1．50NO．62014年3月JOURNALOFMECHANICALENGINEERINGMat．2014DoI：10．3901／JME．2014．O6．001平板式压电六维力传感器静态性能研究木李敏刘俊秦岚刘京诚(重庆大学光电技术及系统教育部重点试验室重庆400044)摘要：针对弹性体式六维力传感器存在的瓶颈矛盾，提出一种非弹性体式平板式压电六维力传感器。目前研究这类六维力传感器的静态性能主要是试验标定法和数字仿真法，这两种方法无法找到传感器结构参数与传感器性能之间的数学关系，也就无

2、法全面实现基于静态特性的结构参数设计。从研究这类传感器的灵敏度特性出发，分析传感器的测量原理，推导传感器的等效结构模型；提出基于灵敏度特性的静态数学解析模型，建立这类传感器的数值模型；结合传感器的数学解析模型和数值模型研制传感器试验原型并开展静态标定试验，测试灵敏度、各向同性度、维间耦合、线性度、重复性等静态特性参数。试验结果证明：平板式压电六维力传感器工作原理正确，解析数学模型和数字模型有效，研究结论为全面设计和研究这类多维力传感器的静态特性奠定了基础。关键词：六维；压电力传感器；有限元；主动设计理论中图分类号：TH112ResearchofPar

3、allelPiezoelectricSix—axisForce／TorqueSensor’SStaticCharacteristicsLIMinLIUJunQrNLanLIUJingcheng(KeyLaboratoryofOptoelectronicTechnologyandSystemofMinistryofEducation，ChongqingUniversity,Chongqing400044)Abstract：Inviewofthebottleneckcontradictionsofelasticsix—axisforcesensor,an

4、inelasticparallelpiezoelectricsix-axisforce／torquesensorisproposed．Atpresent，staticcharacteristicsofthistypeofsix-axisforcesensorcanonlybeobtainedbytestingorsimulating．However,betweenthistypeofsix—axisforcesensorstructureparametersanditsstaticcharacteristicsthroughthesetwometho

5、dscannotbegotthemathematicalrelationship．Thatistosay,thetargetfordesigningthestructuralparametersofsix—axisforcesensorbasedonitsstaticcharacteristics，willnotbemetwithcurrenttworesearchmethods．Thus，itproceedingfromthesix-axisforcesensor’Ssensitivity,anditsoperatingprincipleisana

6、lyzed，itsequivalentstructuremodelisderived，anditsstaticanalyticalmodelbasedonsensitivityandnumericalmodelareestablished．Therebythetargetfordesigningthestructuralparametersofsix-axisforcesensorbasedonitssensitivitycanberealized．Accordingtotheanalyticalmathematicalmode1andsimulat

7、ionmodelofsix—axisforcesensor,thesensor’Sexperimentalprototypeisdeveloped，andthestaticcalibrationexperimentsarecarriedout，somestaticcharacteristicparameters，includingsensitivity,isotropicdegrees，cross—coupling，linearity,repeatabilityandhysteresisaretested．Theexperimentresultspr

8、ovetheavailabilityoftheOperatingprinciple，analyticalma