JBT 9481-1999 扩散硅力敏器件.pdf

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1、ICS19N05JII"}中华人民共和国机械行业标准JB/T9481-1999扩散硅力敏器件Diffusedtypesiliconforcesensingdevices1999-08-10发布2000-01-01实施国家机械工业局发布JB/T9481-1999前言本标准是对ZBN11011-88(扩散硅力敏器件》的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起，代替ZBNI1011-88.本标准由机械工业部仪器仪表元器件标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:沈阳仪器仪表工艺研究所

2、。本标准主要起草人:徐学峰、李宗禄、胡静山。标准分享网www.bzfxw.com免费下载中华人民共和国机械行业标准JB/T9481-1999扩散硅力敏器件代替ZBN11011-88Difusedtypesiliconforcesensingdevices范围本标准规定了扩散硅力敏器件的产品分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体扩散型硅杯式力敏器件。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方

3、应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T2423.5-1995电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ea和导则:冲击GB/T2423.10-1995电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc和导则:振动(正弦)GB/T2828-1987逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB/r4475-1995敏A元器件术语3定义本标准采用下列定义。其他术语采用GB/T4475的相关定义。3.1敏感电阻RSsensingresistance把被测的物理量转换成电阻值变化的电阻。3.2温度补偿电阻Rctempe

4、raturecompensationresistance与被测的物理量无关，只起温度补偿作用的电阻。3.3激励Exexcitation为使器件正常工作而施加在其输人端的外部电流或电压。3.4反向击穿电压Vsreversebreakdownvoltage用仪器(JT-1图示仪)测出的器件两半桥之间的隔离击穿电压。3.5零点输出Uozerooutput器件置于室温条件下，施加标称激励，当被测量值为零时测出的器件桥路输出值。3.6满量程输出呢fullspanoutput器件测量上限时桥路输出值与零点输出值的代数差。3.7零点时

5、漂几zerotimedrift将器件置于恒温条件下(沮度波动不超过129C)，连续侧量8h,其零点输出的最大与最小值之差与满量程输出之比。3.8温度范围Tstemperaturerange能保证器件技术性能参数所允许的环境最低温度到最高温度。国家机械工业局1999-08-10批准2000-01-01实施1拍汀9481-19993.9热零点漂移系数adriftfactorofthermozero当被测量值为零时，温度从室温变化到规定的温度范围的最高或最低温度所引起的零点输出变化量与室温时零点输出之比。3.10热灵敏度漂移系

6、数13driftfactoroftbermosensitivity器件施加测量上限压力，温度从室温变化到规定的温度范围的最高或最低温度所引起的灵敏度变化量与室温时的灵敏度之比。3.11温度回差ATRtemperaturehysteresiserror器件经过高、低温(温度范围的高温点和低温点)循环后，再回到原来的温度上，器件的零点输出恢复到原来数值的能力。3.12允许过载Pw,allowableoverload器件的性能指标不产生永久性变化或不超过规定的允差时，超过测量范围的能力。3.13灵敏度‘sensitivity在

7、室温条件下，施加标称激励，器件输出增量与被测量增量之比。3.14线性度S,linearity器件校准曲线靠近某一规定直线的程度。3.15滞后氏hysteresis当被测量值先逐渐增加到额定值，然后再逐渐减少到零时，在规定范围内，被测量各个检验点中对应输出的最大差值。3.16重复性S,repeatability在相同条件下，以同一方向连续施加相同被测量数值时，器件重现输出读数的能力。3.17准确度Saccuracy测量结果中，系统误差与随机误差的综合，表示测量结果与真值的符合程度。3.18稳定性So.sstability在

8、规定的工作或试验条件下，经过一定时间，器件保持零点和满量程输出不变的能力。4分类与命名4.1型号命名4.1.1型号的组成器件的型号由汉语拼音和数字组成。ML口一口口E3测童上限结构特征类别〔力敏元件)主称(敏感元件)4.1.2说明型号中第三项“结构特征”;卜硅应变片、2-硅应变梁、3一硅杯。型号中第四项“测量上限’，