湿度传感器技术展望.pdf

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1、2016正仪表技术与传感器2016第4期InstrumentTechniqueandSensorNo．4湿度传感器技术展望侯国华，殷景志，李万成，高福斌，马艳，陈信琦(1．吉林广播电视大学，吉林长春130012；2．集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春130012；3．中国电子科技集团公司第四十九研究所，黑龙江哈尔滨150001)摘要：随着工业的发展，湿度监测已广泛地应用在仪器仪表、自动控制系统，农业、气候和环境等各个领域。文中以近十几年的文献资料为基础，介绍了目前利用电学

2、、声学和光学各种不同原理制作的湿度传感器，比较了采用陶瓷，半导体、聚合物和纳米等敏感材料制备的湿度传感器对其灵敏度、湿滞，恢复和响应时间等的影响，给出了一些市场上流行的湿度传感器性能指标。并对未来湿度传感器产品应用、制造材料、工艺的趋势做了展望。关键词：湿度传感器；电子；声学；光学；响应时间；湿滞中图分类号：TP273文献标识码：A文章编号：1002-1841(2016)04-0001—04OutlookofTechnologyinHumiditySensorHOUGuo—hua，YINJing—zhi，LIWan—c

3、heng，GAOFu—bin，MAYan，CHENXin—qi(1．JilinRadioandTVUniversity，Changchun130012，China；2．StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics，CollegeofElectronicScienceandEngineering，JilinUniversity，Changchun130012，China；3．Forty—ninthResearchInstituteofChinaElectronicTechno

4、logyGroupCorporation，Harbin150001，China)Abstract：Withindustrialdevelopment，humiditymonitoringhasbeenwidelyusedinvariousfieldssuchasinstrumentation，automaticcontrolsystems，agriculture，climateandenvironment．Basedonpaperspublishedinthepasttenyears，humiditysen-sorsd

5、esignedwiththeelectrical，acoustic，andopticalprincipleswereintroducedinthispaper．Thesensitivity，hysteresis，recov—eryandresponsetimewerecomparedfordifferenthumiditysensorsmadebyceramics，semiconductors，polymers，andnano-struc—turedmaterials．Theperformancespecificati

6、onsofmarketmainstreamhumiditysensorwerepresented．Trendsofhumiditysensor’Sapplication，material，andmanufacturetechnologyweredescribed．Keywords：humiditysensor；electronic；acoustic；optical；responsetime；hysteresis0引言空气总是含有一定的水汽，空气中水汽的存在导致了湿度。湿湿度是指水蒸气在空气中的浓度。随着社会的进步，对湿

7、度是涉及气态形式中的水，而水分是指液体形式中的水，因此度的检测和控制愈来愈重要。湿度传感器是能将水蒸气的量湿度服从气体定律。由于具有湿度的蒸汽中含有高度极性的转换成可以测量量的传感器，它已被广泛地应用在图书和档案分子，当周围温度有微小变化时就可以使物质表面发生凝聚和管理、气候监测、精密仪器的使用和保护、物品储藏和工业生产蒸发，从而使物质的性质发生变化，而这高的极性是由于H、0等领域J。研究人员已根据不同工作原理制备了相应的湿度原子之间存在负电差。在日常生活中，如何测量和控制湿度就传感器，但对于一个理想的湿度传感器来说它

8、应该具有高的灵显得非常重要J。敏度、长期稳定性、响应时间短、低的价格及能在宽的湿度和温表1水分子性质度范围内工作。本文对当前湿度传感领域的最新研究进展进行性质值综述，首先介绍湿度传感器的相关知识，之后介绍目前国际上采H-O-H角104．5。用电学、声学和光学原理制作的新型湿度传感器及各类传感器使用的材料，比较了采用陶瓷、半导体和聚