温湿度对SnO2基CO气体传感器敏感特性的影响.pdf

《温湿度对SnO2基CO气体传感器敏感特性的影响.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第24卷第6期传感技术学报V01．24No．6CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS2011年6月June2011TheEfectoftheTemperatureandHumidityontheSensitivityofSn02-BasedCOGasSensorsXUEYanbing，TANGZhenan，1．SchoolofElectricalandInformation，DalianJiaoTongUniversity，DalianLiaoning116028，China；、＼2．SchoolofElectronicScienceandTech

2、nology，DalianUniversityofTechnology，DalianLiaoning116024，China／Abstract：PureSnO2nano—powderandPd—dopedpowderswithdopingconcentrationof0．2too1％，2too1％and10mo1％weresynthesizedviasol—gelmethod，whichpowderswereusedassensitivematerialsfortheCOgassensorspreparedontheceramichotplate．Thesensitivityof

3、thesensorsonthedifferenttemperatureandhumidityconditionswastestedontheself-madetestingplatform．Theeffectofdopingconcentrationonthehumiditystabilityofthesen—sorswasstudiedandthemechanismofthesensitivityonhumiditywasdiscussed．Theresultsshowthatthe0．2too1％Pd—dopingsensordecreasesthediscreteofsen

4、sitivityondifferenthumidityconditionsfrom20．5％oftheUn—dopedsensorto8．63％，whichincreasesthehumiditystabilityofthesensoreffectively．10too1％Pd—dopingsensordisplaysdifferentresponseto20xlO～COonabove50％relativehumidityconditionsandtheconductanceofsens．ingfilmdeceasesonthepresenceofreducedgaSofCO．K

5、eywords：COgassensors；ambienttemperatm’eandhumidity；gassensingcharacteristics；PddopedSnO2；dopingconcentrationEEACC：7230Jdoi：10．3969／j．issn．1004—1699．2011．06．003温湿度对SnO2基CO气体传感器敏感特性的影响薛严冰，唐祯安1大连交通大学电气信息学院，辽宁大连116028；＼＼2．大连理工大学电子科学与技术学院，辽宁大连l16024』摘要：采用溶胶一凝胶法制备了纳米SnO，粉体及掺杂浓度比分别为0．2mo1％、2mo1％、10m

6、o1％的三种掺杂粉体。以制得的粉体作为敏感材料，制成陶瓷微热板式CO气体传感器。在自行搭建的气体测试平台上，测试了各传感器在不同环境温湿度条件下对CO的响应，研究了Pd掺杂浓度对传感器湿度稳定性的影响，探讨了湿度影响传感器灵敏度的机理。实验结果表明：0．2mo1％Pd掺杂器件在不同湿度条件下灵敏度离散度由掺杂前的20．5％降低至8．63％，有效提高了传感器的湿度稳定性。10too1％Pd掺杂器件在湿度大于50％相对湿度时，对20x10CO出现反常响应，在还原气体CO出现时气敏膜电导减小关键词：CO气体传感器；环境温湿度；气敏特性；Pd掺杂SnO；掺杂浓度中图分类号：TP212．2

7、文献标识码：A文章编号：1004-1699(2011)06-0793-06CO传感器作为气体传感器的关键品种，在环境湿度会影响传感器的特性。当环境温、湿度发生变监测、能源开发应用、工业过程控制等方面，起着非化时，传感器的输出信号会发生漂移。如何解决环常重要的作用。以SnO为代表的半导体气体传感境温、湿度的影响问题一直是气体传感器领域的研器以结构简单、体积小、响应快等优势，在气体传感究难点之一。在这个问题上，国内的研究鲜有报道，器中占主导地位¨J。为提高传感器的灵敏度和选国外学者多