非晶氮化碳薄膜技术研究.pdf

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1、·108·非晶氮化碳薄膜技术研究StudyonAmorphousCarbonDioxideThinFilms孙卫红SUNWei-hong；刘波LIUBo(91872部队，青岛266012)(Troops91872PLA，Qingda()266012，China)摘要：制备了一种非晶氮化碳薄膜，并对其经行了扫描电镜、膜厚、压痕、划痕、硬度及x射线光电子能谱分析(xPs)测试。测试结果表明该薄膜结构非常致密，具有良好的硬度以及附着力，且表明光滑。可以用作内燃机气缸及活塞的表面处理，增强其润滑性和耐磨性能。Abstract：Anamorp

2、houscarbonnitridefilmwaspreparedandsuhjecledbyscanningelectmnmicmscopy，filmIhickness，indentation，scmtches，hardnessandX—rayphotoelectronspectroscopy(xPS)．Thetestresultsshowthatthefilmstmctureisverydense，withgoodhardnessandadhesion，andsmooth．ItcanbeusedasintemaIcombus“on

3、enginecylinderandpistonsuIfacetreatment，enhanceitslubdcationandwearresistance．关键词：氮化碳薄膜；非晶体；润滑Keywords：carbonnitridenlm；non—cIystalline；lubricating0引言众所周知世界上最坚硬的物质是钻石，俗称金刚石，世界各强国的科研机构一直在努力探索和研究比金刚石更硬的材料。1993年7月，美国哈佛大学传出轰动性的科技新闻，成功研制出氮化碳单晶，一种世界上嘴硬的新材料由此诞生。但是，用各种合成的方法仍难以

4、得到单一项的氮化碳晶体【1’q，尽管如此，人们研究发现，以非晶体形式存在的氮化碳(非晶氮化碳)也具有优良的润滑性和耐磨性，非晶氮化碳薄膜属于一种超硬新材料，它的许多性质同金刚石相似，其特点是硬度高、沉积温度低、耐磨性好、抗腐蚀性优异、使用寿命长。同时，其又具备耐高温耐氧化、化学稳定性好等金刚石所不具备的优点。氮化碳涂层刀具、磁头读写、半导体器件等领域有着广泛应用。并且可应用于发动机行业以及对抗机械磨损要求较高的各种产品上引。本文采用一定的技术方法研制成功了某种氮化碳薄膜Nxl，并对其进行了表面扫描电镜测试、膜厚测试、压痕测试、划痕测

5、试、硬度测试以及x射线光电子能谱分析(xPS)测试，研究了其物理性能。1表面扫描电镜测试如图l所示，这种氮化碳薄膜的结构非常细密，放大20000倍都看不到颗粒。另外就是划痕比较深，比较宽。膜可能有一定的磁性，扫描过程中画面会出现一些波动。2膜厚测试在压痕附近找了很长时间，取如图2两块竖起的氮化碳膜层测其厚度。从两个SEM图片大致判断，膜厚估计在冲压焊接金属件生产准备特殊特性：工装开发，PPAP审核。关键及复杂冲焊件生产准备特殊特性：总成焊接夹具开发，检具开发，PPAP审核，尺寸链分析，关键尺寸输出，第一现场零件质量验收。3构建商用整

6、车生产准备工作项目和管理体系3．1通过以上各个板块生产；隹备的特征特性分析，归纳汇总，就可以形成如表1的标准化工作模型。表1主板块细化板块生产准备工作项目车架工装及特殊工艺l、新结构、新材料、新截面内制件生产准备2、模具开发3．2项目管理体系。特殊特性归纳完成后，就要形成统筹，形成项目管理，紧紧围绕产品的特殊特性，建立定期(周、半月或月)检查会议机制，检查各板块的工作开展情况、达成情况，及时获取过程信息，过程异常，不断优化纠正，使项目不偏离主航道和总目标。3．3同步工程的运用。要做好生产准备，不仅要识别和整合特殊特性，进行特殊特性管

7、理，还需进行资源整合，开展同步工程工作。必须按照新产品生产准备总体进度要求，基于在同一个进度平台上进行各部门工作整合，工作同步化，衔接平滑化，根据特殊特性和聚焦，制定各部门重点工作的完成节点，使各部门的工作形成一个整体，信息对称，工作同步，实现力往一处使，最终实现产品目标的达成。4结束语以上仅从商用整车生产准备进行展开，展现了商用整车生产；隹备的业务构成，特殊特性的关键项目，形成标；隹化的工作模型。结合特定产品的实际特征，把这个模型实例化，就可以快速形成具体的管理项目，工作计划，从而形成项目总体管理。在管理过程中，融会贯通各板块知识

8、点，灵活运用各种管理方法和手段，最终实现有效管理商用整车生产准备项目。参考文献：[1】卢容．浅谈项目管理在汽车行业中的应用[J】．企业科技与发展，2014(17)．InternalCombustionEngine&Parts⋯一帅粤譬