多孔硅的制备及发光特性的研究.pdf

《多孔硅的制备及发光特性的研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、分类号UDC：密级编号多子L硅的制备及发光特性的研究Fabl’icationofPorousSiliconandResearcIlouLuminescenceofPS学位授予单位及代码：拯鲞堡王太生i!Q!墅2学科争业名称及代码：塑堡鱼王生(Q8Q!Q!)研究方问：堂里士堂皇盘鱼王撞垄申请学位级别：亟±指导载帅：端查疰壁煎援研究生：—墅盟韭立!!论文起II』j『日J：2QQ2：Q!：2Q1Q．12联系电晤：-!三鲤垡监鳗立L长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文《多iL硅的制各及发光特性的研究》是本人在指

2、导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包台任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：墨f彪年—!!卫年—三月上￡R长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士，博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编

3、八有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和亍[编学位论文。作者签名：』鳢』二!』L年—兰月—!iLR指导导师签名—业年—三月』鱼8摘要本文采用传统的电化学阳极腐蚀法制各P型多孔硅。通过扫描电子显微镜柬观察P型多孔硅表面形貌和腐蚀失重计算P型多孔硅孔隙率和硅层厚度，研究腐蚀时间、电流密度和HF非度对P型多孔硅电化学阳极腐蚀法制备条件的影响。结果表明，随腐蚀时问、电流密度和HF浓度逐步增加P型多孔硅的孔隙率先增大后减少．随着腐蚀时间、电流强度和HF浓度的增加．P型多孔硅的厚度逐步增加，呈线性关系。通过使用荧光分光光度计

4、在室温下测量P型多孔硅光致发光谱，研究腐蚀时问、电流密度和HF浓度对P型多孔硅电化学阳极腐蚀法光致发光特性的影响。结果表明，增加腐蚀时眠电流密度和HF浓度都能引起P型多孔硅的光致发光谱峰位的蓝移变化。最后，通过『F变优化试验的方法。对P型多孔硅光致发光特性的电学阳极腐蚀法制各条件进行优化。确定较优的P型多孔硅光致发光特陛的电化学阳极腐蚀法制各条件为：腐蚀时问30min．电流密度12mAJcm2，HF浓度6wt％。关键词：多fL硅制备孔隙率光致发光ABSTRACTInthisthesisp-typePOROUSSiliconwasobt

5、ainedbyconventionalelectrochemicalanodizmionMorphologyofp-typePorousSiliconwasobservedbyscanningelectronicmicroscope(SEM)，porosityandthicknessofp-typePorousSiliconwasstudiedbycalculatingweightlossTheinfluenceofetchingtime，cnrl℃ntdensitymadHFconcentrationtothefabrication

6、ofp-typePorousSiliconbyconventionalelectrochemicalealodizationwasstudiedTheresultsshowedthatincreaseofetchingtime，currenldensityandHFconcentration，theporosityofp-typePorousSiliconincreasethendecreaseandthethicknessofthePorousSiliconisincreasedgradually，whichfitalinearre

7、lationshipPhotoluminescenceofPorousSiliconwasindicatedbyfluorescencespectrum砒roomtemperatureThedependenceofroomtemperaturevisibleDhotolumInescellceofPorousSiliconanditsmicrostructureontheanodizmionconditions．suchasetchingtimecurrentdensityandHFconcentrationwerestudiedTh

8、eresultsshowedthattilehlcreaseofetchingtime．currentdensityandHFconcentrationresultsinablueshiftofluminescentwa