NDIR便携式气体传感器关键技术的研究.pdf

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1、NDIR便携式气体传感器中关键技术的研究复旦大学硕士论文指导组成员黄宜平包宗明鲍敏杭周嘉刘全纪新明NDIR便携式气体传感器中关键技术的研究复旦大学硕士论文目录NDIR便携式气体传感器关键技术的研究......................................................................……1第一章前言.................................................................................................

2、................……11.1气体传感器研究背景和意义..............................................................................……11.1.1气体传感器..........................................……，.................................................……21.1.2NDIR气体传感器.....................................

3、..................................................……41.2本文内容及创新点..............................................................................................……6第二章NDIR便携式气体传感器...............................................................................……72.1NDIR便携式气体传感工

4、作原理........................................................................……72.2NDIR便携式气体传感器系统设计....................................................................……82.3本章小结..............................................................................……，.................

5、......……11第三章MEMS红外光源...........................................................................................……123.1研究意义...............................……，.............……‘.............................................……，二1232MEMS红外光源设计和制备..................................

6、..........................................……133.21工作原理......................................................................……，.....................……133.22电极材料选取以及光源结构设计...............……，...............……，......……，...……143.23MEMS红外光源的制备过程..................................

7、................................……173.3MEMS红外光源的测试结果和讨论................................................................……183.4木章小结.……，....................................................................................................……20第四章NDIR气体传感器样品吸收腔研究................

8、.............................................……214.1研究意义.................................