基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究.pdf

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1、分类号LDC：TH74密级：叁盐编{：——基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究ARESEARCHOFNON-CONTACTMICRO—DISPLACEMENTMEASUREMENTSYSTEMBASEDONLINEARCCD学位授予单位及代码：量叠型王基芏!!Q!堕!学科专业名称及代码：邀矍型堂皇熊查[Q!Q41Q!研究方向：擅童到撞蕉查皇丝登申请学位级别：』巫上指导敦师：窒圭勇熬攫研究生：墅塑董论文起止时闯：!QQ!!j二垫!Q11长春理工大学硕士学位论文原创性声明4、人郑重J*叫：所呈变的颇J‘学住沦文，《垫j。线j1：CCD00心妾触础化移删艟系统埘究》硅

2、本人在+iPJ导教师的指导F．独越进行删}究工作所以僻∽懂m．琢上t{r已经Ⅲ¨q㈨的内容外，奉论文不乜禽f1=何JI他个人或集休LZ纾发丧喊拱‘tj世的作品成果。埘本文的研究做出重婴贞献昀个几和健体，均已往文-11蚍IIJJ蜘方式标目。本人完全意识到本声叫的法件结染山t：1==人承担。怍描箍名如Ⅱj丑长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者厦指导教师完全了解“K脊目t工夫学硕Ij、博L学位论史版仪使用枷定“，¨意K春理工大学保尉并向吖]吲科学倩息研究f行、tfl巨f优秀博顺}=学缸论文全文数据库平

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5、学位论文的复印件和I也了版．允rl：{{仑文艘矗蒯和借阌。本人授权k¨I：≠耻I．凡学町U将本学位

6、^史的全部政部分肉窖编^有关数掘库进行榆索，咀司采川牡叫、缩印或扫描等复制手段僳存和汇编学位论文。作^笸粥导_Il【i签名卫m五立11i摘要随着半导体光电器件CCD的快速发展．CCD技术被广泛地应用在测量领域，尤其是在微小位移方面的测量。微位移测量已经广泛地应用在工业领域，提高此类测量的精度可咀提高生产效率、城少生产的次品率、降低生产成本。因此．做位移的研究具有重要意义。本文研充了基于线阵CCD和激光三角法的微小位移测量系统。首先．介绍了光三角测量法和激光成像的相关原

7、理．在此基础上，设计了激光光束准直扩束系统和成像系统，为了提高测量精度，采用双远心光路系统作为光学成像系统，成像效果达到衍射极限：其次．对线阵CCD进行了相关的介绍，包括CCD驱动电路和视频信号处理电路系统；最后．对系统进行了简要的精室分析。关键词：光电检测激光三角法双远心光路CCDABSTRACTWiththerapiddevelopmentofsemiconductorop'toelectronicdevicesCCDtechnologyiswidel3usedinmeasurement．especiall)inIemlsofsmalldisplacementm

8、easurementsMicro．displacementhasbeenwidebusedinindustrialareasImpmxingtheaccurae)ofsuchmeasurementsel：l／1improvenotOn】、productionefficienc)butalsoreduceproduationde,atrateandlowerproductioncostsThereforelhestud)ofmicro—displacementhasgreatsignificanceThemicro-displacementmeasuringsyste

9、mwhichisb“edonlinearCCDandopticaltrigonomeu3methodissmdiedinthispaperFiratl)．thelaserbeamcollimalingandbeamexpandingnslemandtheimagingsystemaredesignedbasedontheprincipleofGaussianimagingandopticalIrigonomem．memodToimprovetheprecisionthedoublelelecentricopticalpalhisusedthendiffraction

10、limitisachievedinimaging5jstemSecondl)．thelinearCCDuhichhasdmingcimuitandvideosignalprocessingcircuitisintroducedErroranal)zingoflhesystemisalsomentionedinpaperatlastKeywords：photoelectricdetectionopticaItrigonometrymethoddoubIetelecentricopticaIpathOCD目录摘要ABSTRACT录第一章绪论．．．．⋯．．．．．．．．