薄膜制备综述-薄膜制备技术研究论文文献.doc

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1、1998,荷兰代尔夫特理工大学的C.H.Chen等人对采用静电喷射沉积的方法制备了TiO2薄膜和Z1O2粉末，他们还对添加物和溶剂对薄膜和粉末制备效果的影响进行了研究。2000,法国的T.Nguyen等人利用静电喷射沉积的方法在不锈钢表面制备了纯纳米舛方氧化诰薄膜，研究了不同的静电喷射沉积参数(基体温度和沉积时间)对薄膜表曲的致密表而多孔微观结构的影响，并通过检验的方法发现薄膜具备良好的组成均匀性。2004,北京工业大学的陈健对超声雾化运用在制备ZnO薄膜方而的应用进行了研究，超声雾化形成的粒了颗粒更小、分布更均匀，较传统雾

2、化总是存在一定比例的大颗粒粒了而言，有较大优势。2004,浙江大学的马铭对采用喷雾热解的方法对给玻璃进行二氧化钛Ti02镀膜进行了研究，并讨论了喷雾参数和液滴大小的关系对所得薄膜质量的影响。2005,长安大学的宫华对采用静电雾化沉积技术制备PbTiOs薄膜进行了研究，主要讨论了基片温度对薄膜形貌的影响，未对静电雾化液滴直径和分布均匀性等方面的影响展开研究。2005,韩国延世大学的Kyung-WanNam采用静电喷射沉积的方法制备了猛氧化物薄膜电极，并将该薄膜运用在电化学电容器方面。2006,中国科学技术大学的吴亚雷等人首次提

3、出了溶胶■电雾化法在光纤表-血制作PZT压电陶瓷薄膜，并分析了前去也浓度、静电雾化条件和沉积温度等晕死对薄膜表面质量的影响，优化得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜。2006,中国科技大学的许高斌等人对静电雾化在纳米薄膜制备中的应用进行了研究,介绍了采用静电雾化制备SnO2-Mn2O3混合膜、Ti02薄膜、CdS薄膜、MgO薄膜的方法。2007,江苏大学的毛慧敏对微尺度静电雾化进行了研究，将静电雾化作为一种薄膜制备技术进行研究。对不同流量、电压下的毛细管静电雾化模式的液滴大小硏究，并设计了沉积装置制备TiO2纳米薄膜。20

4、09,中国科学技术大学的L.Wang等人采用静电喷射沉积的方法制备了Fe2O3W^，并将其作为锂离子电池的阳极材料，表现出了极高的可逆容量。2009,大连海事大学的马玮等人采用静电喷射的方法制备了具备低吸附力的超疏水性聚苯乙烯纳米薄膜，通过调节溶液浓度，得到了不同结构、浸润性及吸附性的表面。2009,电子科技大学的苏妤采用静电喷射的方法在硅片上制备了PVDF薄膜，研究了溶液浓度、电压、接受距离和流量对薄膜结构的影响。2011,日本神奈川科学技术研究院的ToshihisaOsaki利用静电喷射研制了具有柔性水化性质的均匀脂质体

5、阵列，得到的微脂粒粒径均匀统一。2014,沈阳建筑大学的时方晓等人将静电喷射技术、计算机控制和自动加工平台向结合，进行TiO2工业化大面积生产太阳能电池的光阳极薄膜，得到的薄膜表面均匀、颗粒之间结合紧密。2014,南京邮电大学的赵新彦利用静电喷射制备有机太阳能电池活动层，并指出静电喷射工艺过程可控、可实现自组装纳米结构、成本低、材料浪费少的优点使其能高效制备有机太阳能电池这种大面积柔性基底器件。2015,清华大学的刘琦等人将静电喷射技术应用在制备超疏水硅橡胶表面，电喷溶液是由AB组分的高温硫化(HTV)液体硅橡胶(LSR)、

6、石油瞇、N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、纳米二氧化硅(SiO2)颗粒以及十七氟三甲氧基硅烷(FAS-17)组成的复合体系，在静电力的作用下将电喷涂溶液雾化，在接收极固化成型。2009,上海大学的王斌采用静电增强超声雾化热解法制备了ZnO薄膜，该方法是将超声振动雾化产生的液滴输送到发射针中，再施加静电场，使液滴带电，在电场的作用下荷电的液滴沉积在热的衬底上分解，形成氧化锌薄膜。