金刚石线锯切割设备现状与发展综述(zsw).doc

《金刚石线锯切割设备现状与发展综述(zsw).doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、金刚石线锯切割设备现状与设计初探周世威郑超国家特种矿物材料工程技术研究屮心桂林541004摘要：随着光伏产业、半导体等高精端产业的发展，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工显得犹为重要。近年来，世界各国研究开发其切割设备，新工艺，新设备不断涌现。而金刚石线锯切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。关键词:线切割设备金刚石线多线切割金刚石线开方机金刚石单线机环线机一、

2、前言门前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能（如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等），在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业小。伴随半导体、光伏材料技术的发展,需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。锯切是硬脆材料机械加工的第一道工序，锯切加工成本约占加工总成本的50%以上，因此，切割工艺、工具及设备受到越来越广泛的关注，并得到迅速发展。⑴从FI前国内外加工的现状来看，硬脆性

3、材料切割方法多种多样，主要有：金刚石圆盘锯切割（如外圆锯片切割和内圆锯片切割）、金刚石带锯切割、电火花线切割（只能用于带金属晶体）、游离磨料线锯切割和金刚石线锯切割等等。在国际上，游罔磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割占主流地位，但是这种技术存在明显的不足：线锯走丝速度低，通常W10m/S,切割效率低，锯丝使用寿命短。切割人尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝，磨浆的处理和冋收成本较高。因此，近来出现金刚石线锯代替游离磨料线锯的发展趋势。Fl前，国内硅片多线切割设备仍然是国外品牌厂家统治的天下，其核心技术长期为他们所垄断，严重制约我国光伏

4、产业和半导体IC产业的发展。国家将对新能源及其装备制造业给予有力的政策支持，并提出要强化科技创新，提升产业核心竞争力，加强产业关键核心技术和前沿技术研究，强化企业技术创新能力建设，以推进重大科研成果产业化和产业集聚发展。以求在十二五期间，攻下难关,逐步取代进口切割设备，才能迎合国家对新材料、新能源等战略性高新产业的发展势头，才能使自己的行业取得突破性的高速发展，使企业做精做大做强。国外硅片切割设备的最新发展今年上海第五届国际太阳能产业及光伏工程展览会上，国际各大公司展出其最新产品。1、H本东京制钢公司在今年上海第五届国际太阳能产业及光伏工

5、程展览会上展出最新研制的T-8253B型金刚石多线切割机，见图1。该机线速度lOOOm/mi门,牛产能力比游离丝切割机提高2倍以上，实现TTV<10pm,成品率98%的高精度加工,金刚石线消耗量1・5m/片以下，实行低成本牛产，单位面积内牛产能力4.7万片/m2o图2.BM850型开方机内视图图1・日本东京T-8253B金刚石多线切割机2•瑞士MB公司在上海光伏展会上推出的BM850金刚石多线开方机和DS265切片机,其性能十分优越，代表了当今世界切割设备的最高水平，非国产机可比，值得认真考察研究镜鉴。DBM850型金刚石线锯开方机见图2

6、.A.特点%1G5大型晶锭(850X850X450)—次性开方。%1采用4)350um金刚石线，可精确定位和张力控制，切割线消耗量最少。%1产能最高，每年切方36000-52000块。（相当于120-170MW）牛产能力每年120-170MW切割能力4-6刀/天（以晶锭高度计）晶锭切割量每年切方36000-52000块晶锭尺寸（长X宽X高）mm850X850X450mm晶块尺寸（长X宽）mm156X156(125X125,210X210可选)切割线*350Pm金刚石线切割线最大长度/切割线张力20Km/80N机床重量17000Kg电压/频

7、率400V/50/60Hz,440/480V/50/60Hz可选牛产能力每年120-170MW切割能力4-6刀/天（以晶锭高度计）晶锭切割量每年切方36000-52000块晶锭尺寸（长X宽X咼）mm850X850X450mm晶块尺寸（长X宽）mm156X156(125X125,210X210可选)切割线

8、现最高产能。言高进给速度，口】LJ1Q②摇摆机构优化了金刚石线切割长度，缩短切割时间，并提高晶片质量。③最高产量（方锭300mm）290000片/年。④总运行成本最低线耗量W3m/片。⑤最新一