仪器名称气敏测试系统.doc

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1、仪器名称：气敏测试系统数量：1套，仅限国产。用途：气敏材料研究，气体传感器性能分析。技术指标（标注有*的部分为重要技术条款，不能有负偏离）：*1）测量通道：通道数≥4；2）控温范围：室温-500°C，调节精度1°C；*3）测量范围：1Ω-4GΩ，全自动测量无需换挡；4）测量精度：±1Ω，±2%读数；5）采集间隔：最小采集间隔≤1s，连续可调；采集时间：＞1s，连续可调；6）气室体积：≤20L7）3D探针调节：前后行程1.5cm，垂直行距0.5cm（可更换探针），精度15μm；8）同时支持气体稀释剂配气、液

2、体蒸发配气和动态连续配气；9）标配动态配气系统；a.气路通道包括1路背景气体和2路目标气体背景气路：满量程1slm，控制范围2%~100%（20sccm~1000sccm）；目标气路1：满量程300sccm，控制范围2%~100%（6~300sccm）；目标气路2：满量程2sccm，控制范围2%~100%（0.04~2sccm）。*b.全自动配气，可程序式设定配气流程，支持两种控制模式浓度模式：程序设定配气流程，如设定好气源信息，配气的流速、浓度、时间、循环等信息，系统即可自动进行配气。流量模式：单独设定

3、各气路的流量进行配气。c.防腐性能：耐各类强腐蚀性气体（如硫化氢）以及各类易挥发性液体（如甲醛溶液）d.稀释比例：气体最大比例高于10000:1（氮气）e.湿度配置接口预留，用于扩展湿度发生系统，配置不同湿度下的气体氛围*f.液体配气接口预留，用于扩展液体配气，实现ppb级别VOC、甲醛、乙醇等气体配置g.响应恢复快速切换气室：≤100mL10）机械泵极限真空度：1×10-1Pa；，抽速4L/min；11）器件观察窗：石英材质，支持光敏、光敏气敏等研究；12）水循环箱：空载最低温度-15oC，速度20L/

4、min；13）液体蒸发器：控温不低于170oC，调节精度1oC；14）预留1对电极引线，支持光电、晶体管等特性的综合研究；15）测试环境温度监控：0oC~80oC，精度1oC；16）测试环境湿度监控：2%RH~80%RH，精度1%RH；17）测试环境气压监控：0.8Pa~常压；18）通讯接口：USB；控制方式：8寸触摸屏；x