直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响.pdf

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1、第38卷第6期激光技术Vo1．38，No．62014年11月LASERTECHNOLOGYNovember，2014文章编号：1001—3806(2014)06—0785—05直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响肖宇馨，张文涛(桂林电子科技大学电子工程学院，桂林541004)摘要：为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响，利用半经典模型，采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格一库塔算法，模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构，研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激

2、光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明，基片摆放位置不同，沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变；当衍射边到反射镜的距离为0．81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0．叭mm时，纳米光栅的半峰全宽最小，同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。关键词：激光技术；直边衍射；龙格一库塔算法；3维沉积中图分类号：0436文献标志码：Adoi：10．7510／jgjs．issn．1001．3806．2014．06．013Efectofstraightedgedifractionon3一Ddepositionch

3、aracteristicsofCratomsXIA0YuxinZHANGWentao(DepartmentofElectricalEngineeringandAutomation，GuilinUniversityofElectronicTechnology，Guilin541004，China)Abstract：Inordertostudytheinfluenceofstraightedgediffractiononthedepositioncharacteristicsintheprocessoflaser—focus

4、edCratoms，theimprovedfourth—orderRunge—Kuttaalgorithmwasadoptedtosimulatethe3-DtrajectoryanddepositiongratingofCratomsinthestraightedgediffractionlaserstandingwavefieldbasedonthesemi—classicalmode1．Theinfluenceofthedistancefromdiffractionedgetomirrorandfromlaserm

5、edialaxistosubstratesurfaceonlaserfocusedatomicdepositionprocessweredescribed．Theresultsshowthatdiffractioneffectonthedepositionefectwillbechangedbythedifferentsubstrateplacement．Whenthedistancefromdifractionedgetomirrorequals0．81cmandthedistancefromlasermedialax

6、istosubstratesurfaceequals0．01mm，thefullwidthathalfmaximumofnanogratingreachestheminimum，atthesametime，thecontrastreachesthemaximum．Theresearchresultsprovidearichertheoreticalguidanceforatomiclithographyexperiments．Keywords：lasertechnique；straightedgediffraction；

7、Runge—Kuttaalgorithm；3-Ddeposition米加工和制造精准的程度，国际计量局对比了5个引言不同类型的纳米样品，结果表明，中国计量科学研究近年来，激光捕获技术已经在原子光学领域中院的纳米光栅测量结果达到国际同等水平J。在取得了显著的进步，利用近共振激光驻波场精确的实际的沉积过程中，激光光束和基片边缘构成了直操纵中性原子实现纳米级条纹沉积技术是一种新型边菲涅耳衍射的物理模型，基片的边缘相当于一个的研制纳米结构长度标准传递的方法，光栅结构的半无限大的不透明衍射屏，挡住了部分入射激光束间距可以作为纳米长

8、度的标准使用。为衡量纳的传播，而反射光束可以看成是入射光束在反射镜处的镜像，叠加后就形成了衍射激光驻波场J。准基金项目：国家自然科学基金资助项目(11064002)；广直后的中性原子束在激光驻波场偶极力的诱导下，西省自然科学基金资助项目(2013GxNsFDA019002)；广西省向衍射驻波场的波峰(红失谐)或波谷(