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ald中射频阻抗匹配器的设计与研究

ald中射频阻抗匹配器的设计与研究

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时间：2017-12-06

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1、ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究摘要：阐述原子层沉积系(ald)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ads软件对阻抗匹配网络进行仿真，通过分析ald真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化，结合仿真结果，提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证，该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。

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