实验一 扫描电子显微镜的结构和导电样品形貌观察.doc

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1、实验一扫描电了显微镜的结构和导电样品形貌观察1.简要说明扫描电镜的结构及工作原理：扫描电镜的结构包括：1.电子光学系统（镜筒）（1）电子枪（2）电磁透镜汇聚镜（3）扫描线圈光栅扫描、角光栅扫描（4）样品室各级光阑、消像散器2.信号探测放大系统（1）各种探头（闪烁计数器）一一SE、BSE、TE、EDS、GSED、EDS/WDS（2）光电倍增器（3）视频放大器.3真空系统：机械泵、各级分了泵和扩散泵P=10一4〜ICT5Torr（mmHg）4其他系统：图象显示和记录系统、冷却系统、电源系统成像原理：电了束经三个电磁透镜聚焦后，

2、成直径为几个纳米的电了束；末级透镜上部的扫描线圈能使电了束在试样表面上做光栅扫描。试样在电了•束作用下，激发出各种信号，信号的强度取决于试样表面的形貌、受激发区域的成分和晶体取向。在试样附近的探测器把激发出的电了信号接受下来，经信号处理放大系统后，输送到显像管栅极以调制显像管的亮度显像管屮的电了朿和镜筒屮的电了朿同步扫描,H显像管上各点的亮度由试样上各点激发出的电了信号强度来调制，因此从试样表面上任一点所收集来的信号强度与显像管屏上相应点亮度一一对应。所以，试样备点状态不同，显像管各点相应的亮度也必不同，由此得到反映试样状

3、态的图像。2.说明二次电子像、背反射电了像的特点及其用途：特点及应用：二次电子像具有分辨率高、景深大；立体感强的特点，F=do/p主要用于反映样品表血形貌。背散射电了像具有分辩率低、背散射电了检测效率低，衬度小的特点，主要用于反映原了序数衬度。3.分析：根据所获得SEM图像可以看出，所获得样品为主要呈现为扁的椭球形，粒径分布大概在几十到100个微米的级别，表面粗糙，有各种凹陷。彼此间有一定的间隙。