红外探测器光学系统滤光膜的研制.pdf

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1、，寸粪号：Q§墅rDC：5358密纨瑚编号：红外探测器光学系统滤光膜的研制STUDYANDFABRICATl0NOFFILTERFlLMUSEDINTHEDETECTORSFORlNFRAREDOFOPTlCALSYSTEM学位授予单位及代码：篮叠堡王2三芏!!Q!竖2学科专业名称及代码：世芏王瑾fQ8Q31研究万向：丑岱挫堂筮盔垦堕旦申请学位缴别：亟±指导敦师：盟歪兰研究生：堑苎论文起止时侧：2Q!Q：!!二2Ql!：12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《红外探测系统滤光膜的研制》是本人在指导教师的

2、指导下。独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体．均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名辑业!兰年—三一月!生H长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长存理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借

3、阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：删—21卫：年—车月盟日导师龇台磐洫年如甾摘要为了提高红外探测器的灵敏度，本文针对红外探测器元件滤光膜的技术要求，采用si和YbF3的膜料组合，依据薄膜理论，设计干涉截止滤光膜，满足了三个波段对光学性能的要求，并且在实际的制备过程中，优化了真空室内的真空度、烘烤温度和基底温度、si和YbF3的蒸发速率、以及离子辅助沉积等工艺参数。通过多次实验研究．对设备的本身误差进行分析修正，提高了蒸镀si和Yb

4、F3时的膜厚晶控控制精度．在蓝宝石基底上成功镀制了1064rim透射率为915％、1200rim～2900nm波段范围内平均反射率大于97％、3000nm～5000nm波段范围内平均透射率为93％的三波段干涉截止滤光膜，简单分析了综合测试结果和实测光谱曲线。关键词：滤光膜：真空度：温度：离子辅助沉积AbstractInordertoimprovethesensitivity．ofinfrareddetectoraccordingtothetechnicalrequirementsofthefiltercomingfixedoninfrar

5、eddetectorcomponentsandusingthethin—filmmaterialofSIand、ybf3．thearticaldesignsthefiltercoatingonthebaseoffilmtheory．thatmeetsthedemandofthreeregionsofthespectnlmThearticaloptimizesthetechnologyparametersincludingVaCULLⅡIdegree、temperature、evaporationra忙andthepaFameterofio

6、nassisteddepositionmchniqueThroughseveralexperiments’research．theelTOrhasbeencheckedandthecon901accuracyofthefilmthicknesshasbeenimprovedThefilmfilterwhosetransmissivityis915％at1064rim、theaveragereflectivitybetween1200hmand2900hmisabove97％andtheaveragetransmissivi“between

7、3000hmand5000hmis95％hasbeensuccessfullymanufacturedFinallyweshowedthemeasurementcurvesandtestresultsKeywords：FilterfilmVacuumdegreeTemperatureIonassisteddepositiontechnique目求摘要Abstract录第一章绪论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．1I现代光学薄膜的发展以及应用⋯l2课题研究背景及意义．．⋯⋯13论文研究内容．．．．．．第二章薄膜光学的理论基础．．．．．．

8、．．．．．．2．1麦克斯韦的电磁场理论．．．．．．．．．2．2菲涅尔公式．．2．3光学薄膜的特征矩阵．．．第三章膜料的选取以及其光学性质．．．．．．．．．．31干涉截止滤光膜的技术要求．．．3