海洋光学针对薄膜测量推出精确解决方案.doc

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1、海洋光学针对薄膜测量推出精确解决方案　12月22日，OFweek仪器仪表网将举办一场精彩的薄膜测量技术在线语音研讨会——微型光纤光谱仪在膜厚测量中的应用。现邀请广大网友积极参与。　　本次研讨会邀请了海洋光学高级研发工程师文豪小姐进行主讲，并且在研讨会期间将由海洋光学光学工程师丁海峰为网友们现场答疑。　　海洋光学作为微型光纤光谱仪的发明者，一直致力于光纤光谱仪，化学传感器的研究，是全球领先的光传感解决方案提供商，自1989年来在全球共售出近200，000套光谱仪，为OEM客户提供灵活多样的产品选择，为工业科研用户提供性能优越的系统解决方案

2、，涉及领域涵盖生物，环保，医药，光电，化工，教育等。干涉膜厚仪nanocalc系列和椭偏仪specEI系列是海洋光学针对薄膜测量用户推出的两套解决方案，已经应用在半导体器件（如晶硅/非晶硅，SiO2，GaN，及半导体），金属（Au，Ag等）镀膜，多层减反射膜等光学薄膜，薄膜太阳能电池，光刻胶，透明导电薄膜（ITO，FTO，AZO等），OLED（PEDOT，AlQ3），硬质保护膜及封装材料（PC，PET，PMMA等），铁电介电薄膜（PbZr1-xTixO3，Si3N4）等薄膜厚度，光学参数（包括介电常数）的在线/离线检测。根据配置选择，测

3、试范围10nm-250μm，精度达0.1nm，对多层薄膜分析最多可达10层，研究用户还可选择膜厚分析软件SCOUT建模处理复杂膜系。当今微电子薄膜、光学薄膜、抗氧化薄膜、巨磁电阻薄膜、高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，对于工业应用中的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外，薄膜材料的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等都与厚度有着密切的联系。在人们对能精

4、确测量薄膜厚度方法的迫切需求下，相应地，产生了许多测量薄膜厚度的方案。而在众多类方法当中，光学方法是被应用最广泛的方法。它相对于其它类方法具有快速、准确和不损伤薄膜等优点。近年来随着高精度光学器件的产生和计算机的普及应用，测量薄膜厚度的光学方法也有了很大的改进。这些测量方法按照其自身的特点可分成几类。从不同的角度出发，也就会有不同的分类结果。综观当前众多流行的分类方式，按照测量方法所依据的光学原理进行分类最具代表性，可分为干涉、衍射、透射、反射、偏振等。海洋光学所推出的干涉膜厚仪nanocalc系列和椭偏仪specEI系列正是基于反射原

5、理测量膜厚仪器中的个中强者。