微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术.doc

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1、360毕业设计网友情提供www・bysj360.com小型切幾械的肚加工技術瓜現状七成X北七肝心肚技術总発展》t微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术--小型◎機械的加工技術。概念—微型机械加工技术概念小型①機械加工力；li小型①機械設備七電力設備》TAA小型》鼻亍川大量①製作①卞二艺匹量0i"、小型①機関、小型①七A廿一、小型（二集求c疋器七信号処理七制御回路艺実行。+＞其疋吉（二至。疋肚周O＞夕一7工彳X、通信"電気冋路七電源力”一体①小型①器具◎部分品厉rZ等UH扌。•?◎主要卞特徴肚iT：体積①小艺X（特徴①寸法①範I井I力1屮m

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3、的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有：体积小（特征尺寸范围为:lpn-10mm）.重量轻、耗能低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成木；惯性小、谐振频率高、响应吋间短；集约高技术成果，附加值高。微型机械的口的不仅仅在于缩小尺寸和体积，其口标更在于通过微型化、集成化、來搜索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。小型◎機械的加工技術肚作。疋只力二穴厶0r＜細力S加工技術（3Otrtor＜細小、加工①出現七発展（攻i七前（二大規

4、模集積冋路七密接（二関連"二°疋、IC肚微小如面積①半導体①上左更広多＜①電子部品艺入料召二七力召二七艺求的J形成①機能力:複雑整。Zr電気冋路。電気回路①芒<細小、図案小

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6、加工i•召二七力：厉。疋、前世紀①80年代中期後K二LIGA（小型①鋳型力:技術広電気的。tt艺加工mLIGA加工总許可》疋、r<細力7、加工艺超元it.r<細力7、放電加工（EDM）、厂X力’加工、電子已一厶①加工艺<<^i高速①原型力：（RPM）七鍵盤总造。疋技術卞七飞相当Litr<細力7、加工①技術①方面ii。大色X進展艺得去to微型机械加工技术是指制作为机械装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路耍求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路。电路微细图案屮的最小线条

7、宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术。目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺屮发展起来的硅平面加工和体加工工艺，上世纪八十年代屮期以后在LIGA加工（微型铸模电镀工艺）、准LIGA加工，超微细加工、微细电火花加工（EDM）、等离子束加工、电子束加工、快速原型制造（RPM）以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展。小型◎機械的D亍厶大規模◎機械設備七電力設備总完成扌召系統的卞所①完成才召二七力:吉卞X任務。小型①機械总電

8、子技術七LzJ力F結厂付厅疋、種類力:非常（二多s小型①器具①部分品艺発表它疋、3"弋"器具①部分品（才大口①集的5召製造艺採用。疋、価格怎安<疋、広範（二人類①生活i•召多s領域広応用it。予想扌召Z七力:"C吉J今世紀①内【二、小型力’機械的左1歩1歩実験室力”化艺適用*0吉召二七（二向工業七農業、情報、環境、生物①医療、空間、国防…八領域①発展（二対重大卞影響总生族ito芒<細力、<疋機械的卞加工技術瓜小型①機械技術①領域①1^0^

9、卞<疋、更広国家①科学技術七発展Lz疋、経済七国防①建設总密接卞関係（二厉。ito小型①機械的卞加工技術①発展u：巨大卞産業化①将来①実用価値艺持rI'iTo微型机