各种断线的分析.pptx

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1、各种断线的分析天龙光电闵超压线断线晶棒中间部位断线无固定位置断线收线轮断线导轮原因题纲1.1、压线断线分为假压线和真压线两种在这两种情况下真压线的断线率要假压线的高。其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线后采用反切方法排线不真确也会产生。压线断线2.1、晶棒本身的原因。如硬点。硬点的在多晶内部经常出现的一种物质对切片的本身会有一定的影响。在断线出会出现很多不规则的才破裂，硬点处常常会伴有线痕。晶棒中间部位断线2.2、由于导向条原因断线。使用导向条的原因是为了便于切割和避免条线。但是由于导向带来的断线也有是会出现。在粘棒的过程中导向

2、条不是按照晶棒的中心等边粘贴的在切割的中形成的线弓，而线弓的中心不和晶棒的中心重合造成了线弓的两端角度不同从而影响钢线的受力。钢线长时间在同一处受力，应力集中产生断线。3.1砂浆断流在硅片的切割过程中，砂浆和钢线起着决定性的作用。砂浆断流引起的断线多数出现在硅片将要切割完毕时发生。使用MB机器是机器的砂浆系统有一个弊端。在砂浆系统中如果出现程序中砂浆流量程序过度太急促会引起短时间的砂浆断留，这时候钢线和晶棒之间是干摩擦温度十分的高，金属由于瞬时高温会产生热疲劳从而形成短线。无固定位置断线3.2导向条在切割的过程中，当钢线切到晶棒时，导

3、向条的作用也就失去了，由于被切成了很小的薄片他会混合在砂浆中，随着砂浆在钢线上附着有时会卡在钢线上造成断线。3.3准备工作在硅片切割过程中，准备工作是十分必要的也是不能缺少的一个重要环节。准备工作在晶棒切割前对线网清扫、排线检查、钢线的张力检查等的一次汇总。它的切割的重要组成部分。关于收线轮断线的问题一直是很难有一个定论。原因很多，主要有下几种：4.1排线的问题。4.2收线轮的原因4.3收线轮处的张力臂张力不平稳。收线轮断线4.1排线的问题在切割过程中收线轮处的排线轮由于行程有细微的过大，而切割后的钢线本身在切割过程中有了比较均匀的磨

4、损；由于排线轮的行程大了一点，线和收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力（废钢线也有一定的张力）。如果在微观发方面看的话，是由于排线行程过大的那一刹那被收线轮的飞边给切断的。4.2收线轮的原因在排线正常的情况下由于收线轮的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞边上的毛刺产生发切力很大足以截断一根0.120的钢线。4.3收线轮处的张力臂张力不平稳。在一切情况都排除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力臂张力不平稳引起的，忽高忽低的张力给废钢线施加了一个变量的力。在金属力学中这是一大忌，钢线就是这样被疲劳拉断了。5.1导轮在

5、整个硅片切割中起着控制硅片厚薄的一个组成部分也的直接接触切割的设备备件之一。由于长时间接触切割在导轮的槽中存在着很多砂浆和硅的粉末，而这些杂物被钢线不断的挤压不免有一些尖锐的物质存在其中，如果是这种情况下发生的断线则钢线是被压断的。导轮原因5.2导轮损坏引起的断线导轮使用时间过长，导轮的槽深也不断的增加的。钢线卡在其中无法顺畅的进出，从而钢线被拉断。thank