半导体制程的监控系统.doc

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1、半导体制程的监控系统Date:9/17/2008项目简介：　　一家大型的半导体制造商，需要一套集中式的监控系统，以监控生产线的情况。其生产线过去使用不同的控制系统，而且广泛遍布于八个楼层各处。现在结合UNO-2160工业级计算机、ADAM-4068继电器输出模块与AdvantechStudio图控软件，就能够整合所有控制系统而轻易有效地完成监控作业。系统需求：　　制造商原来的系统使用Omron®可编程逻辑控制器与不同品牌的设备，而且广泛分布在几个楼层，因此相当需要一套可靠的网络，以联机所有设备与设备的操作接口

2、。之后监控人员就能从任何工作站或具有存取权限的计算机，来监控现场设备的运作状态。　　其还需要一部精简而可靠的计算机，以装置在空间有限且严苛的作业环境。未来能够轻易维护与升级，也是购置此套系统的另一个重要考虑。 系统图：  系统描述：　　所有现场设备都由Omron可编程逻辑控制器控制，并透过以太网络式的企业内部网络连接一部UNO-2160装置以控制各楼层。UNO-2160内部的CompactFlash®磁盘搭载Microsoft®Windows®EmbeddedXP操作系统与研华Studio软件，因而成为一个平

3、台，可检索网络的数据，而研华Studio软件则可取得可编程逻辑控制器的数据，以启动ADAM-4068模块的继电器。这些模块透过可靠且长程的RS-485网络连接UNO-2160。每部ADAM-4068模块都连接一部布告栏屏幕，以向工厂员工显示制程数据。Studio软件提供下列功能：‧容易升级与修订：AdvantechStudio图控软件可作为一个简单的平台，以利工程师远程监控生产线。‧弹性沟通：AdvantechStudio软件可透过OPC接口撷取FINSOPC网关服务器的数据，或透过内建的FINS撷取Omro

4、nPLC的数据。‧网络浏览器接口：所有操作接口皆可直接转换成HTML格式，以便作业员透过InternetExplorer轻松检视这些操作接口。‧全方位支持运算(Math)与任务排程(Scheduler)功能。‧Math功能：在作业员设定温度警报设定值后，此系统可自动传送警告讯号。‧Scheduler功能：借着在卷标指定不同的储存速率来提高效能。‧效益解决方案：此系统结合ADAM-4068继电器输出模块，可作为一套简单的继电器输出警报解决方案，以取代另一部PLC，来执行SCADA软件与警报功能。 结论：提出一套

5、控制设备的完整解决方案。UNO-2160内建EmbeddedWindows®XP操作系统，已可执行应用程序。精简且无风扇的设计，是执行重要任务的完美设备，且维修也相当容易。‧AdvantechStudio图控软件是本项目的另一项关键要素。其模块化设计、可连网、以及简单易用的设计，有效缩短开发时间并降低开发所耗费的精力。