垂直连续镀铜-.ppt

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1、垂直連續鍍銅JETCHEMJETCHEM(WUXI)CHEMICALTECHNOLOGIESCO.,LTD.超特(無錫)化學科技有限公司酸性鍍銅概述:直流電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅概述直流電鍍:-水平電鍍制程-垂直電鍍制程-槽體設計-分體壓縮式-TP值-酸性銅添加劑-延展性酸性鍍銅水平電鍍制程制程酸性鍍銅垂直電鍍制程工藝流程酸性鍍銅基本原理反應機理:陽極Cuo--Cu+2+2e-陰極Cu+2+2e---CuoANODESANODES++H+SO4-2SO4-2H+H+Cu+2Cu+2Cu+2Cu+2酸性鍍銅槽體設計AirAirFILTER

2、ANODESANODESPUMP隔板陽極袋酸性鍍銅熱應力高溫室溫StressesimpartedtoaPTHduetothermalZ-axisexpansionconditions.ABCDA:銅箔斷裂B:內層銅斷裂C:孔銅斷裂D:邊角斷裂酸性鍍銅厚度分布++理論情況情況1情況3++++++情況2酸性鍍銅陽極袋ANODESHIELDANODESHIELDANODESHIELD陽極梆酸性鍍銅陽極與陰極距離不可接受的可接受的酸性鍍銅TP值TP計算公式EADCBF%TP(C+D)x2(A+B+E+F)=酸性鍍銅HighAspectRa

3、tioRecommendedBathParametersLowHigh酸性鍍銅HighAspectRatioImportantparameters-highinfluence酸性鍍銅HighAspectRatioImportantparameters-mediuminfluence酸性鍍銅HighAspectRatioRecommendedBathParameters酸性鍍銅光澤劑/整平劑分布狀況酸性鍍銅整平能力整平程度a.平整性變差b.沒有作用僅僅覆蓋上c.很好整平性酸性鍍銅光澤劑/整平劑工作機理模型酸性鍍銅光澤劑化學類型酸性鍍銅整平劑

4、化學類型酸性鍍銅PC-UT鍍銅光澤劑主要成份酸性鍍銅延展性酸性鍍銅不同壓力拉力銅箔表1.有很好延展性。2.一般狀況，在很大拉力下較易斷裂。3.較差狀況,很容易斷裂。酸性鍍銅概述:脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍Amps0.5sec10sec酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍對溶液流動影響酸性鍍銅-脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅-脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅-脈衝電鍍電鍍銅沈積機理酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸

5、性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍脈衝電鍍優勢酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍酸性鍍銅-脈衝電鍍CopperReplenishmentforInsolubleAnode制程