砷化镓基LED外延片外观检验标准[1].pdf

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1、合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第1页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//1目的为了有效直观判定外延片外观等级，指导外延外观检验作业，规范检验标准。2适用范围适用于外延片入库前的外观检验。3使用工具卤素灯、PL及显微镜4作业内容4.1检验方法先使用强光灯具下目视有无白点之后；在由50倍显微镜下，透过显示屏观察表面外观(请参考显微镜操作手册)。4.2检验频度：外延全检；品质人员每炉抽四片，内外圈各

2、两片进行检验。4.3单片外观判定标准4.3.1有效面积定义：除边缘5mm外。4.3.2外延片外观等级判定如下表所示，A等级为合格品，B等级为Y品，C等级为F品（报废片,未符合A及B等级则判定为C等级）。更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第2页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//外观等级检验项目异常图例AB白点白点颗数≤45<

3、白点颗数≤20(0.3mm<直径≤1mm)A.<1个区段,A.>2個区域,其区域数量>40颗,数量20~40颗HillocksB.≦2个区段B.<3个区段其区域数量20~40颗数量>100颗Crosshatch无(不允许)*(mismatch)Rainbow无(不允许)*糙边(边缘发白)无(不允许)雾≤5mm表面发雾无(不允许)雾面但有反光<1/4wafer面积表面发灰无(不允许)(不允许)此Particle刮伤区域≤4刮伤、划痕无(不允许)个区域Particle粉尘颗数(经吹扫后)粉尘颗数(经

4、吹扫后)<0.3mm<800<颗数≤160Mismatch无(不允许)(不允许)更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第3页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//表面发青(黑)判定规则:外观等级正常:外延片表面经过倾斜不同角度目测时，发现发黑区域会有所变化，则判定表面正常。(如下图示说明)外观等级不正常:此外观发生异常时则直接判定

5、为Y品1.外延片表面经过倾斜不同角度目测时，发现发黑区域仍固定于原位，则判定表面异常。(如下图示说明)2.外延片PL量测Wd相差大于10nm，则判定表面异常。(如下图示说明)更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第4页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//说明：1.particle数量判定说明:一个区段里面,单一个显微镜的屏幕上所

6、显现的最大数量而非整个区域累加的数量范例说明图一：2.hillocks数量判定说明:显微镜以10x10的倍率来检测,检测区域如下图二所示(图一)（圖二）更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第5页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//3.Particle之目视判定如下图：采与外延片表面目视夹角<30度所见之突起颗粒视为Partic

7、le更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件第6页共7页文件编号砷化镓基LED外延片外观文件名称HL/DN-23-01-001-1.1检验标准产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本//2012/4/161.05相关文件文件编号文件名称页数备注6记录记录编号记录名称页数备注更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号更改员日期拟编审核标准化批准合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件2附：文件履历表文件编号版本文件名称修订原因拟编发布

8、尔日期页数