电子陶瓷材料的纳米科学和纳米技术.pdf

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1、第".卷第2期压电与声光*_+".z+2"##2年%月$,^-7^.^q6

2、,qde(q7md677$6,qd(jg+"##2文章编号!&##2$"2*2’"##2+#2$#/#*$#3电子陶瓷材料的纳米科学和纳米技术张道礼&0徐建梅&0"0姜胜林&0周东祥&’&4华中科技大学电子科学与技术系0武汉2/##*25"4中国地质大学材料与化学工程学院0武汉2/##*2+摘要!电子陶瓷材料正经历着由微米技术向纳米技术发展的过程,对电子陶瓷材料的纳米尺寸效应1纳米技术及代表纳米特征的相关技术的研究就显得日益重要,该文讨论了电子陶瓷材料领域中纳米科学和纳米技术的研究进展以及未来的发展趋势,关键词!

3、电子陶瓷材料5纳米科学5纳米技术5纳米分析5纳米尺寸效应中图分类号!6)/%/57&"/.文献标识码!(89:;<=>?:=?9:@89:;A?=B:;C;DE;FGC?=AH;=?H9I>=J9A?H>9C<&&0"&&KLM8NO9;PC>0QRS>9:PI?>0STM8NUB?:DPC>:0KLVRO;:DPW>9:D’&4XYZ[4]^_Y‘[abc‘d‘cYb‘Ye6Y‘fb_gh0ijklfbgmbcnYaoc[h]d‘cYb‘Ye6Y‘fb_gh0pjfkb2/##*20qfcbk5"4rk‘j_[h]sk[Yack_d‘cYb‘YkbtqfYuc‘k_^bg

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6、Y‘Yb[aYoYka‘fcbY_Y‘[a‘Yakuc‘okbtYn_ncbg[aYbto]a[fY]j[jaYkaYtco‘jooYtcb[fYZkZYa4}?E~;H@

7、[o铁电畴壁这一领域足可说明最近电子陶瓷纳米&引言分析的基本情况,长期以来0薄膜材料中的畴和畴壁电子陶瓷材料正经历着由微米技术向纳米技术都是用透射电子显微镜来研究,最近rY[f等用高发展的过程,电子陶瓷材料的尺寸效应一直是研究分辨率透射电子显微镜’i

8、6^s+和弱束透射电子的主题和焦点0正是电子陶瓷基元器件的尺寸减小显微镜’p)6^s+研究了铁电畴壁的厚度及其随铁才引起了目前人们对纳米科学和纳米技术的普遍兴电相变的变化!&"0他们发现畴壁厚度及畴壁行为与趣,此外0新近开发的用于直接观察纳米尺度特性的!""qk等的理论计算值相似,#ofctk等用6^s研实验手段也是电子陶瓷材料纳米科学与

9、技术日益发究了低温下铁电弛豫体$%’sg中的极&&/z%"&/+7/展的一个非常重要的因素,本文首先介绍近年来纳性范围’&#’3#bu+!/"0而qfj等用类似的方法研米电子陶瓷常用的分析技术0然后讨论电子陶瓷纳究了高温顺电相和低温铁电相间$%’d‘&&"z%&&"+7/米结晶的制备方法及其结构0最后叙述在纳米技术弛豫体(窗口)中缺陷的作用!2",中与半导体技术发展并驾齐驱的集成电子陶瓷薄膜最近学者们用扫描探针显微镜’d$s+同时测微技术的发展趋势,定电子陶瓷的结构’有时是原子尺度的+以及表面的局部特性,通过用d$s对金属和陶瓷间的接触势1"电子陶瓷材料的纳米分析技术晶界局部静电场和越过晶粒

10、边界的电流的分析0可电子陶瓷材料的功能通常用与电测量技术相关以研究其表面局部特性!3",用原子力显微镜’(rs+的结构特征来解释0随着材料特征尺寸的减小0局部对铁电材料表面的畴形貌成像0其方法主要是基于探针分析技术就显得非常必要,对导电探针施加外部交流电压激活引起铁电畴的压收稿日期!"##"$#%$&#基金项目万方数据!湖北省自然科学基金资助项目’"##&())#&*+,作者简介!张道礼’&-./$+0男0江