离子注入法制备的金属纳米颗粒的同步辐射研究.pdf

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1、万方数据ADissertationSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementsfortheDegreeofMasterinScienceSynchrotronRadiationResearchofMetalNanoparticlesFabricatedbyIonImplantationMasterCandidate：Major：Supervisor：HuajianChenPhysicsProf．YuhuaWangWuhanUniversityofSci

2、enceandTechnologyWuhan，Hubei430081，P．R．ChinaMay,2016万方数据武汉科技大学研究生学位论文创新性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下，独立进行研究所取得的成果。除了文中已经注明引用的内容或属合作研究共同完成的工作外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。论文作者签名：氆啤日期：班丛车血扯鲤研究生学位论

3、文版权使用授权声明本论文的研究成果归武汉科技大学所有，其研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解武汉科技大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门(按照《武汉科技大学关于研究生学位论文收录工作的规定》执行)送交论文的复印件和电子版本，允许论文被查阅和借阅，同意学校将本论文的全部或部分内容编入学校认可的国家相关数据库进行检索和对外服务。论文作者签名指导教师签名日期万方数据摘要本文阐述了离子注入法在半导体掺杂领域中的重要意义，并利用此技术制备了注入浓度不同、元素不同的金属纳米颗粒以

4、及不同掺杂配比的二元合金纳米颗粒。在介绍了相关测试技术工作原理的基础上，综合运用紫外可见光谱、原子力显微镜、和同步辐射荧光XAFS研究了不同注入参数对掺杂材料的光学吸收、表面形貌和局域微观结构的影响。详细介绍与总结了处理荧光XAFS测试数据所需的晶体结构数据库、FEFF计算以及IFEFFIT软件的使用方法以及注意事项。通过上述测试与分析，得到了注入元素的振荡信号以及精细结构信息，包括近邻元素组成、配位数、原子间距等，并对其做了分析。采用紫外可见荧光光谱和同步辐射真空紫外荧光光谱测试了掺杂材料的光学性

5、质，分析了注入过程引入的缺陷及材料的能态结构变化。综合以上分析，我们发现了掺杂材料的局域微观结构与其光学性质的变化规律，从而为此类材料在半导体掺杂工艺中的生产应用提供了科学依据。关糊：纳米颗粒；离子注入；同步辐射；X射线吸收精细结构；真空紫外荧光万方数据AbstractInthispaper,weillustratethesignificantvalueofionimplantationinthefieldofsemiconductor,anduseittofabricatesinglemetaln

6、anoparticlesandbimetallicnanoparticlesbycontrollingtheconcentrations，injectingelementsanddopingratio．Basedontheintroductionoftheworkingprincipleofthetestingtechnology,weusedUV-visspectrum，atomicforcemicroscopy,andsynchrotronradiationfluorescenceXAFStos

7、tudythedopedmaterialsunderdifferentinjectionparameters．Andthroughthetesting，weobservedtheopticalabsorption，surfacemorphologyandlocalmicrostructureofthesamples．Meanwhile，thecrystalstructuredatabase，FEFFcalculationandtheuseofIFEFFITsoftwareareintroduceda

8、ndsummarizedindetailforthedataprocessingoffluorescentXAFS．Throughthetestandanalysis，theoscillationsignalandthefinestructureinformationoftheinjectionelementareobtained，includingthecompositionofthenearestneighborelements，thecoordinationnu