《ELA基础介绍》PPT课件.ppt

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2、光退火系统(2)准分子激光原理、结构及参数(1)准分子激光退火系统的结构(3)光学系统构成简介(4)退火腔结构简介ELA系统基本组成准分子激光退火系统TCZ&JSWELASystemoverview准分子激光退火系统-ELASystemoverview准分子激光原理、结构及参数-激光器原理准分子激光原理、结构及参数-激光器原理准分子激光原理、结构及参数-Lasertubedesign准分子激光原理、结构及参数-Lasertubedesign准分子激光原理、结构及参数LasingIonbranchDischargeXe，F2Xe，Xe*，Xe+，F2，F-

3、Xe*，F2Xe+，F-(XeF)*Xe，FNeutralbranch351nme-+Xe→Xe++e-+e-e-+Xe→Xe*+e-e-+F2→F-+FXe++F-+M→(XeF)*+MXe*+F2→(XeF)*+FPumping:Stimulated:(XeF)*+hν→Xe+F+2hν(351nm)Losses:(XeF)*→Xe+F+hν(351nm)(XeF)*+M→Xe+F+M(XeF)*+M+Xe→Xe2F+MX+hν(351nm)→X*准分子激光原理、结构及参数-Laserarchitecture准分子激光原理、结构及参数-Gaslife

4、time准分子激光原理、结构及参数-参数准分子激光原理、结构及参数-参数PeaktoPeakEnergyFluctuation准分子激光原理、结构及参数-参数PulsedurationPulseduration准分子光学系统简介光学系统示意图准分子光学系统简介Monitorsystem示意图准分子光学系统简介BeamShortAxis&LongAxisShortAxisSlope准分子光学系统简介退火腔结构简介退火腔室结构退火腔结构简介ScanProcess3.ELA工艺技术(1)晶化机制(2)主要参数薄膜吸收与加热薄膜表层熔融热能传导部分熔融接近完全熔

5、融完全熔融激光照射多晶硅晶化过程ELA工艺技术-晶化机制ELA工艺技术-主要参数EnergyDensityVsMeltregimeELA工艺技术-主要参数OverlapVsPitchOverlap—相邻两个shot之间的重合程度Pitch—相邻两个shot之间的距离Overlap=(BeamWidth-Pitch)/BeamWidthOverlapVs.GrainSizeELA工艺技术-主要参数ELA工艺技术-主要参数CVDThinFilmConcernELA工艺技术-主要参数Dehydrogen4.ELA工艺测试(2)SEM测试(3)AFM测试(1)宏

6、观检查(4)ｕ-PCD测试ELA工艺技术-宏观检查宏观检查-MuraELA工艺技术-SEM测试ELA工艺技术-AFM测试ELA工艺技术-AFM测试SurfaceMaphologyMechanismELA工艺技术-ｕ-PCD测试Thanks