德国ALD炉清洗方案.doc

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1、德国ALD公司生产SCU400型多晶炉化学清洗北京奥森特化工有限公司2008-12-7一、概述二、德国ALD公司SCU400型多晶炉内外冷却循环水系统化学清洗1、循环水系统清洗的范围2、清洗药剂的选择3、化学清洗步月4、清洗药剂成本一、概述:设备情况据厂家介绍，为徳国ALD公司生产多晶硅铸锭炉。冷却水内循环系统，分为内循环和外循环两种。内循环是夹层式换热器，构成材质为不锈钢、碳钢和少量的铜零部件，配电冷却水系统为紫铜管材质，总水容积为约0.5R?左右，内循环冷却水系统设备内部因氧腐蚀而产生了大量的锈蚀产物。希望利

2、用化学方法在保证设备金属基体不受损伤的情况下，清除锈蚀产物恢复金属清洁表面。厂家介绍冷却水系统的情况如下：lo供水主管道是不锈钢材质，由阳光供应。现在已经清理完毕；2o设备内部通冷却水的通道有：2o1不锈钢材质，管内径从8J0到100毫米不等；2o2紫铜材质，内径约从10到20毫米不等；2o3橡胶材质，多为通冷却水的胶管，内径约为10-20毫米；2O4碳钢，是炉壁材料。炉子内壁为不锈钢，外壁为碳钢。3o初始的冷却水（要求的冷却水）为PH=7.5-8.5的纯水。可以提供变质后的水质分析报告；4o冷却水的工作压力是6

3、公斤；5o正常工作时冷却水用量是200L/min.本公司建议采用由奥地利比姆博丄有限公司的先进药剂“克垢之星一6号D3.2药剂”，对上述设备进行化学除锈清洗工作,采用“特灵中性一1号药剂”对上述设备进行化学钝化处理。耍使工业冷却水形成正常的循环系统，需耍采取两项关键的处理措施：一是使升温的冷却水降低到可回用的温度，以保持较好的冷却效果，此过程称为循环水的冷却;二是使循环水质保持稳定，防止换热设备与管路结垢和腐蚀。虽然冷却水在每次使用后的物理性状变化很小，但长期循环使用后，会因水中某些溶解物浓缩或散失，尘土积累，微

4、生物滋生等原因，造成设备内垢物沉积或金属设备表而腐蚀。为防止循环冷却水回用系统中垢物沉积或设备腐蚀而对冷却水进行处理的过程称为循环水处理。对于新安装的设备，其冷却水系统中的设备，在加工运输储存期间会发生腐蚀，带入切削油，防锈油，在安装过程中，可能会留下碎屑油类泥沙或其他杂质。因此在投产之前，冷却水系统也应该进行化学除垢清洗。只用清水冲洗系统无法达到最佳换热效果。还会增快垢的生长。循环水系统存在的垢质，腐蚀（氧化铁氧化铜等）及切削油防锈油微生物繁殖会给设备运行带来严重危害。对于运转多年的设备，由于产生了垢质，对设备

5、还会造成垢下腐蚀最终减少了设备的使用寿命。结垢对水系统设备造成的严重危害：1:降低换热效率。2：循环水量减少。3：降低了水处理纱剂的使用效杲。4：加速腐蚀。5：减少了设备的使用寿命。6：增加了运行成本。二、多晶炉炉内（封闭）外（敞开）领冷却循环水系统化学清洗:1、循环水系统清洗的范围冷却水系统的清洗主要消除冷却塔，冷却水管道内壁，板式换热表面，铜管换热器，炉壁水道等的污垢，水垢，生物粘泥，腐蚀产物等沉积物。2、化学清洗药剂的选择化学清洗是采用一种或几种化学药剂（或其水溶液）消除设备工艺面或水侧面污垢的方法。它是借

6、助清洗剂对物体表面污染物或覆盖层进行化学转化溶解剥离以达到脱脂除锈和水垢的效果。首先要确定垢质的种类。垢质包括碳酸盐垢，硫酸盐垢，硅酸盐垢，氧化铁垢,氧化铜垢等。垢质确定后第二步确定循环水系统设备的材质或被清洗设备的材质。在以上两方面情况确定后就可以对药剂进行选择了。敞开式外循环水系统本公司建议采用由奥地利比姆博士有限公司的先进药剂“克垢之星一1号药剂”，对上述设备进行化学除锈清洗工作，采用“特灵中性一1号药剂”对上述设备进行化学钝化处理。3、化学清洗步骤停机清洗是对真空工业炉内循环封闭式纯净水冷却水系统的清洗。

7、因被清洗设备温度过高，所以必须进行停机清洗，否则将对被清洗设备造成酸碱腐蚀。如果是新安装的设备，应进行设备运转前的内循环冷却水系统清洗。加入克垢之星6号D3.2清洗剂进行除锈除氧化物。如果冷却水系统中油脂过多，还要进行除油脂工作。步骤为：除油脂-酸洗・冲和钝化-预膜。除油脂使用克垢之星8号943,当设备运行使用多年，就耍进行除水垢及其他污垢，耍加大工业清洗剂的使用量。用量以垢量多少而决定。止常运转后加入缓蚀阻垢剂，进行水处理。A、停机化学清洗（真空工业炉内封闭式循环水系统）清洗范围：内循环是夹层式换热器，构成材质

8、为不锈钢、碳钢和少量的铜零部件，配电冷却水系统为紫铜管材质在确定了清洗剂的品种型号后，将冷却水系统中的循环水量降到最低量，够运行循环的量即可。一般不停机清洗是在低含量药剂浓度下进行的。药剂浓度外2-3%PH=lo先向冷却水中加入适量的清洗剂（北京奥森特化工有限公司出厂的工业清洗剂已加入了适量的缓蚀剂等其它助剂），可釆用分批加入清洗药剂，使清洗液循环工作，温度控制在50摄氏