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时间:2020-03-13
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1、太赫兹QCL芯片及光斑成像检测美克锐科技徐吉高新年伊始,美克锐科技应中科院上海技术物理研究所及上海微系统所邀请,联合开展关于自研太赫兹QCL项目芯片及光斑检测成像的实验。此次实验,希望通过成像方式,能同时观测到芯片光斑质量、发光点位置以及制冷头与芯片温度差异(制冷效果)。本次实验所采用的相机及QCL参数如下:太赫兹QCL:QCL频率:2.7THz输出功率:0.15mW(峰值功率15mw,占空比1%)制冷温度:77K(液氮制冷)太赫兹相机:像元阵列:640*480像元尺寸:17um像元材料:非晶硅实验构建的简单光路如下:实验获取出光与未出光图像如下:实验结
2、果可以看出,QCL光束质量较高,圆环条纹是透镜前后表面干涉形成;相机能清晰地检测到杜瓦内部除光斑外的红外图像,芯片衬底与冷却头强度接近,显示系统散热效果较好;光斑相对芯片位置清晰,便于后期搭建光路系统;
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