光学薄膜特性计算.ppt

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1、光学薄膜特性计算矢量法计算和导纳矩阵法1CASIX矢量法计算的两个假设两个假设前提:1.膜层没有吸收,k=0,N=n2.在确定多层膜的特性时,只考虑入射波在每个界面上的单次反射。2CASIX矢量计算方法如图一示各个界面的振幅反射系数为:其数值可正可负图一3CASIX矢量计算方法膜层的位相厚度为:合成振幅反射系数由每一界面的反射系数的矢量和确定,每个界面的反射系数都联带着一个特定的位相滞后。4CASIX矢量计算方法合成振幅反射系数可以用矢量作图法求出。方法:首先计算各个界面的振幅反射系数和各层膜的位相厚度,将各个

2、矢量按比例地画在同一张坐标图上。然后按三角形法则求合矢量;工具:圆规、三角板、量角器。求得的合矢量的模为膜系的振幅反射系数,幅角就是反射光的位相变化。能量反射率是振幅反射系数的平方。5CASIX矢量计算方法为了避免作矢量图时方向混乱,故规定:1.矢量的模rq,正值为指向坐标原点,负值为离开原点。2.两相邻矢量之间的夹角为两束相干光的位相差角2δq,按逆时针方向旋转来计算这个角度。下面举例说明:6CASIX矢量计算方法实例图一所示膜系中,令n0=1.0,n1=1.38,n2=1.90,n3=1.65,n4=1.5

3、2,入射角θ0=0,各层膜的光学厚度为:7CASIX矢量计算方法实例用矢量法计算波长400nm、520nm、650nm处的反射比。忽略膜的色散,即各个波长处的折射率相同,则振幅反射系数相同,应用公式有结果:8CASIX矢量计算方法实例相继矢量的夹角见下表:9CASIX矢量计算方法实例图二即400nm处的矢量计算图,此波长处的反射率为0.81%图二10CASIX矢量计算方法实例图三即520nm处的矢量计算图,此波长处的反射率为0.09%图三650nm处的矢量计算,大家有兴趣可自己算,11CASIX导纳计算法光学导

4、纳的概念:定义为总磁场强度与总电场强度的切向分量之比,即引入光学导纳的概念,会对计算膜系的反射比和透射比带来不少方便,是在组合导纳中磁矢量的切向分量;是在组合导纳中电矢量的切向分量;k是光波传播方向的单位矢量。(1-1)12CASIX导纳矩阵法单层膜的情况,图四所示,单层膜的两个界面在数学上可以用一个等效界面表示,膜层连同基片一起等效成为一个新的基体,新基体的光学导纳是Y。对入射媒质和新基体的界面应用菲涅尔公式,得出单层膜的反射系数为。图四单层膜的等效界面图(1-2)13CASIX导纳矩阵法光学导纳法的原理是借

5、助于膜层某一侧的电、磁矢量的切向分量来表达另一侧的电、磁矢量的切向分量的。因为界面两侧的切向分量是连续的,所以这一方法可以对整个膜系中各个膜层重复进行。1.我们先从单层膜开始,设单层介质膜的折射率为,膜的几何厚度为,玻璃基片的折射率为,入射介质的折射率为,入射光波是平面光波,入射角为。2.光波在单层膜中的传播见图四。图中,为简明起见,我们在光波传播方向的单位矢量k旁边写E,但应当记住14CASIX导纳矩阵法15CASIX导纳矩阵法16CASIX导纳矩阵法17CASIX导纳矩阵法18CASIX导纳矩阵法将式(1-

6、8)代入式(1-5),得:进行矩阵运算即得:19CASIX导纳矩阵法令M1为薄膜的特征矩阵,也称干涉矩阵,它的重要意义在于把薄膜的两个界面的场联系起来了,而它本身却包含了薄膜的一切特征参数:对s偏振时,20CASIX导纳矩阵法有了单层膜的干涉矩阵,就可以推导多层膜的干涉矩阵。21CASIX导纳矩阵法对于一个二分之一波长层,即有效光学厚度为某一参考波长的二分之一的薄膜,在该参考波长处特征矩阵有:可见半波长层在该参考波长处对于波膜系统的特性没有任何影响,称“虚设层”22CASIX导纳矩阵法对于一个四分之一波长的膜层

7、,则有:对于规整的四分之一波长的膜膜系,则可以用矩阵运算很快得到组合导纳:23CASIX太枯燥了,大家看看鼓浪屿!24CASIX

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