真空系统培训PV system.ppt

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1、WCM车间工艺真空系统简介2010-9-20目录一、PV系统图纸二、真空泵构造及原理三、PV系统技术参数四、PV系统操作规程五、PV系统日常维护及保养六、故障分析PV系统图纸简介车间用气点排入大气PV系统图纸简介Ⅰ期PVⅡ期PVWCM一层无PV用气点PV系统图纸简介PV至三电池丝网至三电池PECVD至四电池丝网至四电池PECVD真空泵构造真空泵原理1、叶轮与泵体呈偏心配置，两端由分配器封住，在泵内注入适量的液体，当叶轮旋转时，沿泵体内壁就形成一个厚度接近相等的旋转液环。2、液环内表面与叶轮轮毂表面及分配器断面构成月牙形的工作腔，并被叶轮叶片分割成大小不等

2、的数个空腔。3、当叶轮旋转时，从外界吸气，空腔逐渐旋向排气侧，空腔容积逐渐减小，气体被压缩，当压力达到大气压时，气体通过排气口排出，从而完成吸气、压缩、排气三个工作阶段。4、工作时，一部分工作液会随气体排出，因此需连续不断地向泵内注入一定量的新鲜工作液体。以保证泵的正常运行。真空泵原理吸气吸气口叶轮叶片排气排气口液环泵体压缩PV系统技术参数名称单位参数主泵型号规格-J200NVER-112排气量m3/h1900轴功率KW75工作压力KPA-86.7传动方式-皮带传动转速rpm1500换热形式-板式换热器换热面积m215换热器冷却水水量Lmin160-20

3、0换热器冷却水水温℃≤14换热器冷却水水压MPA0.4工作液补水温度℃≤15工作液补水水压MPA0.4运行方式-闭式循环工作液循环量Lmin160配电电压V380频率HZ50PV系统操作规程一、开机检查1、检查控制柜电源是否到位；2、检查冷却水的供应是否正常，冷冻循环水是否正常；3、检查各阀门开启是否正常，保证排气管路畅通；4、检查各表计齐全可靠；5、检查皮带是否有松动；6、检查各电磁阀门是否处于正常状态；7、检查真空泵腔体内的工作液液位应保证不高于泵的轴线所处的位置；二、自动开机在开机前检查全部正常后，把电控柜上的旋钮调至自动，真空泵会自动启动。当运行

4、的真空泵不能保持-0.090Mpa的负压时，会随机再启动一台真空泵，当运行的压力低于-0.095Mpa时会自动关一台真空泵；在正常情况下，真空泵会在持续运行一周后自动随机切换，关机后会自动排除马达轴轴封内的循环水。PV系统操作规程三、手动开机1、先开启换热器的冷却水泵，使冷却水开始循环；2、当汽水分离器内液位达到设定液位（20cm—30cm之间）时，再启动真空泵，并留意运转的声音是否异常。四、运转中的检查1、各班在巡检时正常点检：听运行时的声音，看表计液位。2、检查分离器的液位是否在管限范围内；3、检查工作液的压力是否在管限范围内；4、检查工作液的温度，

5、当温度升高则表示换热器受到污染，需要换水或清洗；5、检查真空泵的入口与缓冲罐之间的压差，如果升高则表明吸入管线上有堵塞现象。PV系统操作规程五、手动停机1、先关真空泵马达，在等约1至2分钟后，再关冷却循环水；2、关闭主管路阀门，如长期停机需切断电源，排尽循环水。备注：开机前需认真检查，严禁轴封无液体开车，发现故障先停机切换后，再检查原因，尽量避免设备病态运转。PV系统日常维护及保养一、日常维护点检部分点检项目周期点检工具判断基准异常时的处置轴承噪音每天听音棒无异常音轴承点检温度每天温度计轴承室外部80℃以下轴承点检确认吸入、吐出压力泵壳振动每天振动计无异

6、常振动确认中心环、点检基础螺栓紧固状况、真空泵内部点检噪音每天听音棒无异常音真空泵内部点检温度每天温度表无异常温度上升确认吸入、吐出压力；确认吸入、吐出配管；真空泵内部点检机械密封漏水每天目视无异常泄露更换机械密封真空度变动每天目视无异常真空度变动确认吸入、吐出配管电流变动每天目视无变动确认吸入、吐出压力确认吸入、吐出配管封水压力每天目视无变动确认封水配管流量每天确认封水循环泵温度每天确认冷却水PV系统日常维护及保养二、真空泵分解时需注意事项点检部位点检内容判断基准备注泵壳，泵盖各部分的腐蚀、磨损无明显腐蚀、磨损转子各部分的腐蚀、磨损无明显腐蚀、磨损与排

7、气道气缸的间隙参考附件资料排气道气缸各部分的腐蚀、磨损无明显腐蚀、磨损止回阀球体磨损、损伤无磨损、损伤机械密封磨损、损伤无磨损、损伤轴承室轴承外径嵌入部无磨损、损伤主轴，轴套轴承，联轴器嵌入部尺寸图纸尺寸直径的2mm以下轴承套部的磨损、损伤无磨损、损伤键槽的变形、松懈无变形、松懈轴的振动参考附件资料轴承转动体、内外轮等的磨损、损伤接触、固定良好、无损伤、破损分解时推荐更换转动音无轻微异常音联轴器螺栓、橡胶的变形、磨损无显著变形、磨损PV系统故障分析事故现象原因对策不能启动电机故障点检电机电源异常点检电源关联启动条件不成立确认各个条件真空泵旋转体接触、剐蹭

8、手动盘车确认，分解点检摩擦面有异物进入手动盘车确认，分解点检风量不足封水的流量不