真空吸笔使用规范.ppt

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1、真空吸笔使用规范使用真空吸笔的目的一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触。从而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低。二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免和杜绝。正确的使用方法示范Step1:首先把Cassette放置在作业台上，并保证放置平稳，方便操作。放置平稳，方便操作正确的使用方法示范Step2:认真检查Cassette放置方向是否正确。Cassette内的Wafer是否有方向防反的现象。检查Wafer的方向是否正确，确保方向一致。正确的使用方法示范Step3：拿紧真空吸笔，用食指夹紧开关的前端，拇指推

2、动开关。拿稳吸笔，用拇指控制开关。正确的使用方法示范Step4:笔头平行轻触Wafer背面，并确保笔头完全和Wafer接触，吸稳Wafer。笔头完全和Wafer接触，防止吸力不足而导致滑落。正确的使用方法示范Step5:以Wafer的背面为着力点，垂直将Wafer抽出。速度保持平稳。垂直平稳抽出，以Wafer背面受力，并保持Wafer正面不受力。以Wafer的背面为受力点，避免正面和Cassette摩擦。正确的使用方法示范Step6:将Cassette倾斜一定角度，将Wafer对好要放置的位置。倾斜一定角度，并将Wafer对准位置，避免错位。Step7

3、:以Wafer的边缘和背面为受力点，插入Cassette插入Wafer，避免正面和Cassette产生摩擦。以Wafer背面和边缘为受力点插入。Step8：笔头前端和前一片Wafer平齐时。关闭真空开关。使其轻轻滑入Cassette。笔头不要没入Wafer内，避免与邻近的Wafer光面接触到。Step9：关闭真空开关，使Wafer边缘和背面与Cassette接触并轻轻滑落让Wafer轻轻滑落入Cassette。错误的使用方法以下列举几种错误使用方法，请大家在今后的使用过程中坚决避免！错误的使用方法未垂直抽取Wafer，造成与领近的Wafer摩擦。错误的

4、使用方法未垂直抽取Wafer，造成与领近的Wafer摩擦。错误的使用方法笔头插入过深，容易造成邻近的Wafer划伤。错误的使用方法笔头插入过深，容易造成邻近的Wafer划伤。错误的使用方法摆放错位！！错误的使用方法摆放错位！！错误的使用方法摆放错位！！错误的使用方法笔头未完全吸住Wafer，容易滑落！！错误的使用方法笔头未完全吸住Wafer，容易滑落！！