镀膜营销精英知识培训.ppt

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1、精美特镀二厂镀膜营销精英知识培训产品应用▷用于LCD或手机上的显示玻璃，用溅射方法在玻璃上镀ITO(Indium-TinOxide)等材质的单层或多层薄膜的产品单层：TN/STNITO、PDPITO多层：触摸屏、PDP-Filter、P-TVMirror，用于TFT的Cr镀膜ARASFilm[应用范围]■产品的应用■ITO4.5Ω产品结构■ITO10Ω产品结构手机行业电脑行业数码行业光学镜头应用领域■ITO盖板产品结构多样化印刷盖板效果珠光效果黑色效果七寸面板印刷白色效果■ITO盖板产品应用镀膜原理■镀膜分类■镀膜分类■镀膜分类比较▷沉积方法-物理沉积(Phys

2、icalVaporDeposition,PVD)-化学沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)在沉积的过程中形成新的化合物▷什么是溅射？高能粒子撞击固体表面时，固体表面的原子与撞击粒子弹性或者非弹性冲突后，固体表面的组成原子从表面跳出的过程把靶材（阴极）分裂成原子，然后将原子沉积在玻璃面上靶材（阴极）基片（玻璃）■薄膜沉积(溅射法)首先把沉积物质转换成气体，换句话说利用加速的离子冲突，使基础物体从靶材中跳出的过程。为了把溅射气体(Ar：惰性气体，与内部物质间的化学反应最少，离子质量比较合适）转换成加速粒子，需要利用辉光放电形成等离子体，把A

3、r气体离子化并在电场作用下加速成Ar+轰击靶材，使靶材的粒子溢出。为了形成等离子体，先要形成辉光(Glow)放电。辉光放电：指电子密度为108-1012/㎤、电子能为1-30eV左右的低温等离子体在持续的电流作用下产生发光的现象。■进行过程▷什么叫等离子体?-等离子体(等离子态、电浆、英文：Plasma）：是一种电离的气体，由于存在电离出来的自由电子和带电离子，具有很高的电导率，与电磁场存在极强的耦合作用。等离子态在宇宙中广泛存在，常被看作物质的第四态-辉光放电生成及维持等离子体（辉光放电是低气压下的气体放电）■等离子体磁铁的排列方向为N→S→N→S→N→S极，

4、形成左右对称的靶材消耗，但根据磁铁排列及磁极之间的宽度，靶材消耗的宽度也不同■靶材上安装磁铁是为了使靶材周围形成磁场来约束电子，并利用电子的密集化来增加Ar气体的离子化。可以提高溅射沉积速度，而且把电子约束在靶材周围，因此减少2次电子对基板的打入，导致的不必要的加热及杂质混合■跳出的靶材粒子沉积在基板玻璃上就形成我们需要的薄膜真空泵电源Gas■溅射沉积要沉积的物质叫靶材，在真空室里注入Ar等惰性气体后，在靶材上施加负电压，Ar气体体被激活形成等离子体。等离子体中的Ar+离子利用电引力移动到阴极方向，这时靶材表面原子会跳出并沉积在玻璃基板上。这样的过程，通过很多离

5、子反复发生，叫溅射沉积。■溅射沉积各式各样的膜系金属(NB,SIAL,CU)半导体(ITO)绝缘体+半导体(TiN,SiO2)纯绝缘体(光纤,Tio2,SiO2)各式靶材各种基片■完整的溅射工艺●ITO镀膜玻璃的定义-ITO是IndiumTinOxide的缩写，是In2O3-SnO2系列化合物的一种。其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量约为10%，用溅射的方法把材质镀在玻璃板上，并应用在显示器件上的玻璃叫ITO镀膜玻璃。1)特性-透光率良好，电阻系数低。-导电性及蚀刻性良好。-以透明导电性薄膜及容易轻量化而扩大应用范围。-可以形成超薄

6、膜且再现性突出，所以可以镀膜的物体很多。2)ITO镀膜玻璃的结构■ITO镀膜的理解※具有导电性的材质：1)金属：通过自由电子的移动具有导电性。2)半导体：电子或者孔穴持有部分导电性。3)绝缘体：满带的电子持有导电性，但几乎没有电子的移动，所以不导电。※ITO具有导电性的原因☞ITO是In2O3被SnO2置换，如同下面反应式。根据上面的反应式实际起导电作用的是Sn和In置换过程中提供的电子。但是从Sn跳出来的电子不是在传导带上，而是在禁带上，所以在导电方面几乎没有做贡献，因此ITO物质不能导电。但是，ITO实际上按照下面的反应式进行导电。按照上面的反应式时，一个原

7、子的2个氧电子处于传导带可以导电。即，有氧离子空洞（vacancy）ITO才可以导电。(vacancy：是指1个到250个左右的原子跃居的空间；反面void是指数十万个的原子跃居的空间。)，所以ITO可以称为n-型半导体。因此化学理论上ITO不能导电，实际导电的是氧离子稍微不足的非化学理论的ITO。■ITO导电原因■镀SIO2膜的必要性○ITO玻璃的原板玻璃是廉价的碱性玻璃，玻璃内含有3wt%的Na2O成分。①玻璃中的钠离子移动到表面碰到空气后被大气中的水分引起Na+的涌出。②涌出的Na+和水分中的OH+及大气中CO2进行复合化学反应，导致玻璃模糊。③Na+进入

8、ITO膜内跟ITO膜中的